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1. WO2014082359 - SOURCE D'ÉNERGIE À RADIOFRÉQUENCE À PHASE RÉGLABLE À SIGNAL À RADIOFRÉQUENCE

Numéro de publication WO/2014/082359
Date de publication 05.06.2014
N° de la demande internationale PCT/CN2012/087208
Date du dépôt international 21.12.2012
CIB
H03H 7/18 2006.01
HÉLECTRICITÉ
03CIRCUITS ÉLECTRONIQUES FONDAMENTAUX
HRÉSEAUX D'IMPÉDANCES, p.ex. CIRCUITS RÉSONNANTS; RÉSONATEURS
7Réseaux à plusieurs accès comportant comme composants uniquement des éléments électriques passifs
18Réseaux pour commande de déphasage
CPC
H03H 7/18
HELECTRICITY
03BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY
HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
7Multiple-port networks comprising only passive electrical elements as network components
18Networks for phase shifting
H05H 1/46
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
46using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
H05H 2001/4682
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
24Generating plasma
46using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
4645Radiofrequency discharges
4682Associated power generators, e. G. Circuits, matching networks
Déposants
  • 中国科学院微电子研究所 THE INSTITUTE OF MICROELECTRONICS OF CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN]/[CN]
Inventeurs
  • 李勇滔 LI, Yongtao
  • 李英杰 LI, Yingjie
  • 夏洋 XIA, Yang
  • 王文东 WANG, Wendong
Mandataires
  • 北京华沛德权律师事务所 BEIJING BRIGHTANDRIGHT LAWFIRM
Données relatives à la priorité
201210497318.628.11.2012CN
Langue de publication chinois (ZH)
Langue de dépôt chinois (ZH)
États désignés
Titre
(EN) RADIOFREQUENCY SIGNAL PHASE-ADJUSTABLE RADIOFREQUENCY POWER SUPPLY
(FR) SOURCE D'ÉNERGIE À RADIOFRÉQUENCE À PHASE RÉGLABLE À SIGNAL À RADIOFRÉQUENCE
(ZH) 射频信号相位可调节的射频电源
Abrégé
(EN)
Disclosed is a radiofrequency signal phase-adjustable radiofrequency power supply. The radiofrequency power supply comprises a radiofrequency signal generator, a radiofrequency power amplifier circuit, a power supply circuit, and a radiofrequency power detector. The radiofrequency signal generator comprises a phase adjustor circuit. The phase adjustor circuit is for use in adjusting the phase of an externally inputted radiofrequency signal. The present invention has the phase adjustor circuit embedded into the radiofrequency signal generator, and therefore allows for adjustment of the phase of the synchronous access radiofrequency signal, eliminates a signal phase difference between the present radiofrequency power supply and a radiofrequency power supply providing the radiofrequency signal, prevents crosstalk, and increases process stability.
(FR)
L'invention concerne une source d'énergie à radiofréquence à phase réglable à signal à radiofréquence. La source d'énergie à radiofréquence comprend un générateur de signal à radiofréquence, un circuit amplificateur de puissance à radiofréquence, un circuit d'alimentation électrique et un détecteur de puissance à radiofréquence. Le générateur de signal à radiofréquence comprend un circuit de réglage de phase. Le circuit de réglage de phase est destiné à être utilisé pour régler la phase d'un signal à radiofréquence injecté depuis l'extérieur. Dans la présente invention, le circuit de réglage de phase est incorporé dans le générateur de signal à radiofréquence et permet par conséquent le réglage de la phase du signal à radiofréquence d'accès synchrone, élimine une différence de phase de signal entre la présente source d'énergie à radiofréquence et une source d'énergie à radiofréquence délivrant le signal à radiofréquence, empêche la diaphonie et accroît la stabilité du processus.
(ZH)
本发明公开了一种射频信号相位可调节的射频电源,所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器;所述射频信号发生器包括相位调节电路,所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。由于本发明在射频信号发生器内嵌入有相位调节电路,因此能够调节同步接入的射频信号的相位,消除本射频电源与提供射频信号的射频电源之间的信号相位差,避免串扰,提高工艺稳定性。
Également publié en tant que
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