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1. (WO2014081896) FORMATION DE FAISCEAU D'INSPECTION POUR PERMETTRE UNE MEILLEURE SENSIBILITÉ DE DÉTECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/081896    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/071106
Date de publication : 30.05.2014 Date de dépôt international : 20.11.2013
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035 (US)
Inventeurs : WOLTERS, Christian; (US).
XU, Zhiwei; (US).
REICH, Juergen; (US)
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; KLA-TENCOR CORP. Legal Department One Technology Drive Milpitas, CA 95035 (US)
Données relatives à la priorité :
61/728,707 20.11.2012 US
14/036,360 25.09.2013 US
Titre (EN) INSPECTION BEAM SHAPING FOR IMPROVED DETECTION SENSITIVITY
(FR) FORMATION DE FAISCEAU D'INSPECTION POUR PERMETTRE UNE MEILLEURE SENSIBILITÉ DE DÉTECTION
Abrégé : front page image
(EN)Methods and systems for reshaping the beam intensity distribution of an illumination light supplied to a specimen under inspection are presented. A scanning surface inspection system includes a beam shaping element that flattens the beam intensity distribution of a beam of light generated by an illumination source. The reshaped illumination light is directed to the wafer surface over an illumination spot. With a flattened beam intensity distribution, the incident beam power can be increased without the beam intensity exceeding the damage threshold of the wafer at any particular location. In addition, the illumination spot is shaped by the beam shaping element to have a variable beam width in a direction parallel to the inspection track. The location of a defect within an inspection area having a variable beam width is estimated based on an analysis of the output of the detector.
(FR)La présente invention se rapporte à des procédés et à des systèmes permettant de reformer la distribution d'intensité de faisceau d'une lumière d'éclairage fournie à un spécimen lors d'une inspection. Un système d'inspection de surface de balayage comprend un élément de formation de faisceau qui aplatit la distribution d'intensité de faisceau d'un faisceau de lumière produit par une source d'éclairage. La lumière d'éclairage reformée est dirigée vers la surface de la tranche sur un point d'éclairage. Avec une distribution d'intensité de faisceau aplatie, la puissance du faisceau incident peut être accrue sans que l'intensité du faisceau ne dépasse le seuil d'endommagement de la tranche à n'importe quel endroit particulier. De plus, le point d'éclairage est formé par l'élément de formation de faisceau de sorte à avoir une largeur de faisceau variable dans une direction parallèle au chemin d'inspection. L'emplacement d'un défaut présent dans une zone d'inspection ayant un faisceau variable est estimé sur la base d'une analyse de la sortie du détecteur.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)