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1. (WO2014081040) PLATINE POUR ÉCHANTILLON, DISPOSITIF À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/081040    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/081793
Date de publication : 30.05.2014 Date de dépôt international : 26.11.2013
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/16 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : OMINAMI Yusuke; (JP).
OHSHIMA Takashi; (JP).
ITO Sukehiro; (JP)
Mandataire : ISONO Michizo; c/o Isono International Patent Office, Sabo Kaikan Annex, 7-4, Hirakawa-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1020093 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-257030 26.11.2012 JP
Titre (EN) SAMPLE STAGE, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
(FR) PLATINE POUR ÉCHANTILLON, DISPOSITIF À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON
(JA) 試料台及び荷電粒子線装置及び試料観察方法
Abrégé : front page image
(EN)This charged particle beam device irradiates a primary charged particle beam generated from a charged particle microscope (601) onto a sample (6) arranged on a light-emitting member (500) that makes up at least a part of a sample stage (600), and, in addition to obtaining charged particle microscope images by the light-emitting member (500) detecting charged particles transmitted through or scattered inside of the sample (6), obtains optical microscope images by means of an optical microscope (602) while the sample (6) is still arranged on the sample platform (600).
(FR)L'invention concerne un dispositif à faisceaux de particules chargées qui irradie un faisceau primaire de particules chargées à partir d'un microscope (601) à particules chargées sur un échantillon (6) disposé sur un élément électroluminescent (500) qui compose au moins une partie d'une platine pour échantillon (600) et, en plus d'obtenir des images de microscope à particules chargées par ledit élément électroluminescent (500), détecte les particules chargées transmises à travers l'échantillon (6) ou diffusées à l'intérieur de celui-ci, obtient des images de microscope optique au moyen d'un microscope optique (602) alors que l'échantillon (6) est encore disposé sur la plate-forme (600) portant les échantillons.
(JA) 本発明に係る荷電粒子線装置は、荷電粒子線顕微鏡(601)から発せられた一次荷電粒子線を、試料台(600)の少なくとも一部を構成する発光部材(500)の上に配置された試料(6)に照射し、試料(6)の内部を透過または散乱してきた荷電粒子を発光部材(500)により検出することにより荷電粒子顕微鏡画像を取得するとともに、試料(6)を試料台(600)に配置したまま、光学顕微鏡(602)によって光学顕微鏡画像を取得する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)