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1. (WO2014080987) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, UNITÉ DE SUPPORT D'ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/080987    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/081411
Date de publication : 30.05.2014 Date de dépôt international : 21.11.2013
CIB :
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/16 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : OMINAMI Yusuke; (JP).
KONOMI Mami; (JP).
KAWANISHI Shinsuke; (JP).
SUZUKI Hiroyuki; (JP)
Mandataire : ISONO Michizo; c/o Isono International Patent Office, Sabo Kaikan Annex, 7-4, Hirakawa-cho 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1020093 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-254835 21.11.2012 JP
Titre (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE, SAMPLE STAGE UNIT, AND SAMPLE OBSERVATION METHOD
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES, UNITÉ DE SUPPORT D'ÉCHANTILLON ET PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON
(JA) 荷電粒子線装置、試料台ユニット、及び試料観察方法
Abrégé : front page image
(EN)This charged particle beam device is provided with a charged particle optical lens barrel (2) which generates a primary charged particle beam, a housing (7) which is internally evacuated by a vacuum pump (4), a first diaphragm (10) which forms a part of the housing (7) and which can maintain the air-tight state of the internal space thereof, and a second diaphragm (50) arranged between the first diaphragm (10) and a sample (6), wherein the primary charged particle beam generated in the charged particle optical lens barrel (2) is transmitted or passed through the first diaphragm (10) and the second diaphragm (50) and irradiated onto the sample (6) in a state in contact with the second diaphragm (50).
(FR)Le dispositif à faisceau de particules chargées de l'invention comprend un barillet de lentille optique (2) à particules chargées qui génère un faisceau primaire de particules chargées, un corps (7) qui est évacué de manière interne par une pompe à vide (4), un premier diaphragme (10) qui forme une partie du corps (7) et qui peut maintenir l'état d'étanchéité à l'air de son espace interne, et un second diaphragme (50) disposé entre le premier diaphragme (10) et un échantillon (6), le faisceau de particules chargées généré dans le barillet de lentille optique (2) à particules chargées est transmis dans le premier diaphragme (10) et le second diaphragme (50), ou traverse ceux-ci, et est diffusé par irradiation sur l'échantillon (6) selon un état où il est en contact avec le second diaphragme (50).
(JA) 荷電粒子線装置は、一次荷電粒子線を発生させる荷電粒子光学鏡筒(2)と、内部が真空ポンプ(4)により真空排気される筐体(7)と、筐体(7)の一部を成し、その内部空間の気密状態を維持することができる第一の隔膜(10)と、第一の隔膜(10)と試料(6)との間に配置された第二の隔膜(50)と、を備え、荷電粒子光学鏡筒(2)で発生させた一次荷電粒子線を、第一の隔膜(10)および第二の隔膜(50)を透過または通過させ、第二の隔膜(50)に接触した状態の試料(6)に照射する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)