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1. (WO2014080850) BOÎTIER DE CARTE SONDE ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE CARTE SONDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/080850    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/080968
Date de publication : 30.05.2014 Date de dépôt international : 12.11.2013
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), G01R 31/26 (2014.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP).
JAPAN ELECTRONIC MATERIALS CORP. [JP/JP]; 2-5-13, Nishinagasu-cho, Amagasaki-shi, Hyogo 6600805 (JP)
Inventeurs : MORI, Chikaomi; (JP).
AMEMIYA, Takashi; (JP)
Mandataire : BECCHAKU, Shigehisa; Matsuoka Tamuracho Bldg. 7th Floor, 22-10, Shinbashi 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1050004 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-256209 22.11.2012 JP
Titre (EN) PROBE CARD CASE AND PROBE CARD TRANSFER METHOD
(FR) BOÎTIER DE CARTE SONDE ET PROCÉDÉ DE TRANSFERT DE CARTE SONDE
(JA) プローブカードケース及びプローブカードの搬送方法
Abrégé : front page image
(EN)Provided is a probe card case or the like, which makes it possible to easily handle a probe card, and which is applicable also to probe cards having reduced diameters (small sizes). This probe card case for storing a probe card is characterized in being provided with: a first case member, which is capable of having the probe card placed at a predetermined position; a second case member, which can be fitted in on the upper side of the first case member, and which has a card fixing mechanism for fixing the probe card; and a case fixing mechanism for fixing the first case member and the second case member. The probe card case is also characterized in being capable of transferring the probe card in a state wherein the probe card is stored in the probe card case, and the first case member and the second case member are fixed to each other, and also in being capable of transferring the probe card merely with the second case member in a state wherein the probe card is fixed to the second case member.
(FR)Cette invention concerne un boîtier de carte sonde ou similaire, qui facilite la manipulation d'une carte sonde et qui peut être utilisé avec des cartes sondes de diamètre réduit (de petite taille). Ledit boîtier de carte sonde conçu pour accueillir une carte sonde est caractérisé en ce qu'il comprend : un premier élément de boîtier destiné à accueillir la carte sonde dans une position prédéterminée ; un second élément de boîtier qui peut être adapté sur le côté supérieur du premier élément de boîtier et qui présente un mécanisme de fixation de carte pour fixer la carte sonde ; et un mécanisme de fixation de boîtier pour fixer le premier élément de boîtier et le second élément de boîtier. Ledit boîtier de carte sonde est en outre caractérisé en ce qu'il est apte à transférer la carte sonde dans une situation dans laquelle la carte sonde est installée dans le boîtier de carte sonde et le premier et le second élément de boîtier sont fixés l'un à l'autre, et en ce qu'il est apte à transférer la carte sonde uniquement par l'intermédiaire du second élément de boîtier, dans une situation dans laquelle la carte sonde est fixée au second élément de boîtier.
(JA) プローブカードの取り扱いを容易に行うことができ、且つ小径化(小型化)したプローブカードにも対応することのできるプローブカードケース等を提供する。プローブカードを収納するためのプローブカードケースであって、前記プローブカードを所定位置に載置可能とされた第1のケース部材と、前記第1のケース部材の上側に嵌合可能とされ、前記プローブカードを固定するためのカード固定機構を有する第2のケース部材と、前記第1のケース部材と前記第2のケース部材とを固定するためのケース固定機構と、を具備し、前記プローブカードを前記プローブカードケースの内部に収納し、且つ前記第1のケース部材と前記第2のケース部材とを固定した状態で搬送可能とされるとともに、前記プローブカードを前記第2のケース部材に固定した状態で、前記第2のケース部材のみと共に前記プローブカードを搬送可能とされたことを特徴とする。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)