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1. (WO2014080444) ACTIONNEUR ÉLECTROSTATIQUE ET DISPOSITIF À CAPACITANCE VARIABLE

Pub. No.:    WO/2014/080444    International Application No.:    PCT/JP2012/007570
Publication Date: 30 mai 2014 International Filing Date: 26 nov. 2012
IPC: H02N 1/00
Applicants: PIONEER CORPORATION
パイオニア株式会社
PIONEER MICRO TECHNOLOGY CORPORATION
パイオニア・マイクロ・テクノロジー株式会社
Inventors: HANIHARA, Koji
埴原 甲二
SUGITA, Tetsuro
杉田 哲郎
Title: ACTIONNEUR ÉLECTROSTATIQUE ET DISPOSITIF À CAPACITANCE VARIABLE
Abstract:
La présente invention concerne un actionneur électrostatique capable d'amener une section d'un faisceau oscillant à osciller définitivement dans une direction qui s'approche d'un substrat, tandis que l'autre section est amenée à osciller dans une direction qui atteint le substrat. L'actionneur électrostatique comprend : un faisceau oscillant (22), soutenu pour pouvoir osciller comme une bascule par un support (21) sur un substrat de silicium (2) et amené à osciller par une force électrostatique ; et un faisceau mobile (25) opposé sur le côté substrat de silicium (2) à une section extérieure (22a), par rapport au support (21), du faisceau oscillant (22) afin de générer une force électrostatique entre lui-même et la section extérieure (22a) et ayant également une extrémité sur un côté opposé au support (21) reliée à une extrémité de la section extérieure (22a) et l'autre extrémité sur le côté support (21) fixée au substrat de silicium (2).