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1. (WO2014079082) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TUBE DE COMMUTATION ET DISPOSITIF PERMETTANT DE GRAVER LE TUBE DE COMMUTATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/079082    N° de la demande internationale :    PCT/CN2012/085393
Date de publication : 30.05.2014 Date de dépôt international : 28.11.2012
CIB :
H01L 21/336 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGY CO., LTD. [CN/CN]; NO.9-2,Tangming Rd, Guangming New District Shenzhen City, Guangdong 518132 (CN)
Inventeurs : QUE, Xiangdeng; (CN)
Mandataire : CHINA WISPRO INTELLECTUAL PROPERTY LLP.; Room A806 Zhongdi Building, China University of Geosciences Base, No.8 Yuexing 3rd Road, High-Tech Industrial Estate, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518057 (CN)
Données relatives à la priorité :
201210476822.8 21.11.2012 CN
Titre (EN) METHOD FOR MANUFACTURING SWITCH TUBE AND DEVICE FOR ETCHING SWITCH TUBE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN TUBE DE COMMUTATION ET DISPOSITIF PERMETTANT DE GRAVER LE TUBE DE COMMUTATION
(ZH) 开关管的制作方法及开关管的蚀刻设备
Abrégé : front page image
(EN)A method for manufacturing a switch tube, including sequentially forming a control electrode (11), an insulation layer (12), an active layer (13) and a source and drain metal layer (14) of the switch tube on a glass substrate, performing patterning processing on the source and drain metal layer (14) and exposing the active layer (13), and then etching the exposed active layer (13) in a manner of gradually reducing the etching rate to form a channel of the switch tube. A device for etching a switch tube used this way can reduce the damage to a channel of a switch tube, improving the reliability of the switch tube.
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un tube de commutation, consistant à former séquentiellement une électrode de commande (11), une couche d'isolation (12), une couche active (13) et une couche de métal de source et de drain (14) du tube de commutation sur un substrat de verre, à effectuer un traitement de traçage de motifs sur la couche de métal de source et de drain (14) et à découvrir la couche active (13), puis à graver la couche active (13) découverte de manière à réduire graduellement la vitesse de gravure pour former un canal du tube de commutation. Un dispositif permettant de graver un tube de commutation utilisé de cette manière peut réduire les dommages à un canal d'un tube de commutation, améliorant la fiabilité du tube de commutation.
(ZH)一种开关管的制作方法,包括在玻璃基板上依次形成开关管的控制电极(11)、绝缘层(12)、有源层(13)以及源漏金属层(14),对源漏金属层(14)进行图案化处理后暴露有源层(13),之后对暴露的有源层(13)以逐步降低蚀刻速度的方式进行蚀刻以形成开关管的沟道。一种开关管的蚀刻设备,通过上述方式,能够减小对开关管沟道的损伤,提高开关管的可靠性。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)