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1. (WO2014078320) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE TRAITEMENT D'UNE PIÈCE DE TRAVAIL ET ARTICLE AINSI FORMÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/078320    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/069717
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 12.11.2013
CIB :
H01L 21/78 (2006.01)
Déposants : ELECTRO SCIENTIFIC INDUSTRIES, INC. [US/US]; 13900 N.w. Science Park Drive Portland, OR 97229 (US).
CHANG, Thomas [US/US]; (US).
BOATWRIGHT, Thomas [US/US]; (US).
HALDERMAN, Jonathan, D. [US/US]; (US)
Inventeurs : CHANG, Thomas; (US).
BOATWRIGHT, Thomas; (US).
HALDERMAN, Jonathan, D.; (US)
Mandataire : HAYNES, Mark, A.; Haynes Beffel & Wolfeld LLP P.O. Box 366 Half Moon Bay, CA 94019 (US)
Données relatives à la priorité :
61/727,606 16.11.2012 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING A WORKPIECE AND AN ARTICLE FORMED THEREBY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE TRAITEMENT D'UNE PIÈCE DE TRAVAIL ET ARTICLE AINSI FORMÉ
Abrégé : front page image
(EN)A manufacturing process is applicable to singulating die from a substrate, where the substrate has a layer distinguishable from the substrate by a mechanical property such as brittleness. The process can include providing a workpiece including a substrate and a layer disposed on a first surface, modifying the mechanical property such as by compression, deforming a region of the substrate proximate to the portion of the layer having the modified mechanical property; and fracturing the portion of the layer at a location proximate to the deformed region of the substrate. Also, the process can include propagating a crack through a region of the substrate on a line along the modified portion of the layer. A die formed in this manner is also provided.
(FR)La présente invention concerne un processus de fabrication, applicable à la séparation d'une matrice d'avec un substrat, le substrat ayant une couche pouvant être distinguée du substrat par une propriété mécanique, comme la friabilité. Le processus peut inclure la fourniture d'une pièce de travail qui comprend un substrat et une couche disposée sur une première surface, la modification de la propriété mécanique, par exemple par compression, la déformation d'une région du substrat près de la partie de la couche ayant la propriété mécanique modifiée ; et la fracturation de la partie de la couche près de la région déformée du substrat. De plus, le processus peut comprendre la propagation d'une fissure à travers une région du substrat, sur une ligne le long de la partie modifiée de la couche. L'invention concerne également une matrice formée de cette façon.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)