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1. (WO2014078151) ENREGISTREMENTS DE MESURE PAR DES CAPTEURS POUR TÊTE DE SUPPORT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/078151    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/068817
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 06.11.2013
CIB :
H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : YAVELBERG, Simon; (US)
Mandataire : GOREN, David, J.; Fish & Richardson P.C. P. O. Box 1022 Minneapolis, Minnesota 55440-1022 (US)
Données relatives à la priorité :
61/727,544 16.11.2012 US
Titre (EN) RECORDING MEASUREMENTS BY SENSORS FOR A CARRIER HEAD
(FR) ENREGISTREMENTS DE MESURE PAR DES CAPTEURS POUR TÊTE DE SUPPORT
Abrégé : front page image
(EN)A pressure control assembly for a carrier head of a polishing apparatus includes a pressure supply line configured to fluidically connect to a chamber of a carrier head, a sensor to responsive to pressure in the chamber and configured to generate a signal representative of the pressure, and a pneumatic control unit configured to receive the signal, to control a pressure applied to the pressure supply line, and to record the signal in a non-transitory storage media of a storage device removably attached to the pneumatic control unit.
(FR)Un ensemble de régulation de pression pour une tête de support d'un appareil de polissage comprend une conduite d'alimentation en pression conçue pour être en communication fluidique avec une chambre d'une tête de support, un capteur sensible à la pression dans la chambre et conçu pour produire un signal représentatif de la pression, et une unité de commande pneumatique conçue pour recevoir le signal, pour réguler une pression appliquée sur la conduite d'alimentation en pression, et pour enregistrer le signal dans un support d'informations non transitoire d'un dispositif mémoire fixé amovible à l'unité de commande pneumatique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)