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1. (WO2014077404) OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, PROCÉDÉ D'ÉCLAIRAGE, AINSI QUE PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/077404    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/081124
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 19.11.2013
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), G02B 5/30 (2006.01), G02B 17/08 (2006.01), G02B 19/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventeurs : SHIGEMATSU Koji; (JP)
Mandataire : OMORI Satoshi; Omori Patent Office, 2075-2-501, Noborito, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2140014 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-253407 19.11.2012 JP
Titre (EN) ILLUMINATING OPTICS, ILLUMINATION METHOD, AND EXPOSURE METHOD AND DEVICE
(FR) OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE, PROCÉDÉ D'ÉCLAIRAGE, AINSI QUE PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION
(JA) 照明光学系及び照明方法、並びに露光方法及び装置
Abrégé : front page image
(EN)These illuminating optics, which use light from a light source to illuminate a reticle surface, are provided with the following: a spatial light modulator that has a plurality of mirror elements arranged within a prescribed arrangement plane; a first polarization control system that is positioned upstream of said arrangement plane and controls the polarization-state distribution of light incident upon the mirror elements such that the ratio between vertical polarization (which is p polarization when the light is incident upon the arrangement plane) and horizontal polarization can be varied; and a second polarization control system that is positioned downstream of the arrangement plane and is capable of setting the polarization-state distribution of the light heading towards the reticle surface via the mirror elements to a distribution that includes a diagonal-polarization component. This allows a high degree of freedom with respect to polarization-state changes.
(FR)La présente invention concerne des optiques d'éclairage qui utilisent la lumière d'une source de lumière pour éclairer une surface de réticule, et qui sont munis : d'un modulateur de lumière spatiale qui possède une pluralité d'éléments miroirs disposés selon un plan d'agencement prédéfini ; d'un premier système de commande de polarisation positionné en amont dudit plan d'agencement et qui contrôle la répartition de l'état de polarisation de la lumière incidente sur lesdits éléments miroirs de sorte que le rapport entre la polarisation verticale (qui est une polarisation p lorsque la lumière est incidente sur ledit plan d'agencement) et la polarisation horizontale puisse être modifié ; et d'un second système de commande de polarisation positionné en aval dudit plan d'agencement et qui est capable de définir la répartition de l'état de polarisation de la lumière dirigée vers la surface dudit réticule à l'aide desdits éléments miroirs selon une répartition qui comprend une composante de polarisation diagonale. Cela permet d'avoir un degré de liberté élevé par rapport aux changements d'état de polarisation.
(JA) 光源からの光によりレチクル面を照明する照明光学系であって、所定の配列面内に配列される複数のミラー要素を有する空間光変調器と、その配列面の上流に配置されて、ミラー要素に入射する光の偏光状態の分布を、縦偏光(その配列面に入射するときにP偏光)及び横偏光の比が可変となるように制御する第1偏光制御系と、その配列面の下流に配置されて、複数のミラー要素を介してレチクル面に向かう光の偏光状態の分布を、斜め偏光成分を含む分布に設定可能な第2偏光制御系と、を備える。偏光状態の変更に関して高い自由度を持つことができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)