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1. (WO2014076794) DISPOSITIF DE RETRAIT DE SUBSTANCE EN ADHÉSION, SYSTÈME DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR METTANT EN ŒUVRE CE DISPOSITIF, ET PROCÉDÉ DE RETRAIT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/076794    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/079650
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 15.11.2012
CIB :
B08B 7/00 (2006.01)
Déposants : MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 16-5, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1088215 (JP)
Inventeurs : ARAI Satoshi; (JP).
SHIGEOKA Nobuyuki; (JP)
Mandataire : MORI Ryuichirou; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ADHERED-MATTER REMOVING DEVICE, AND VAPOR DEPOSITION SYSTEM AND REMOVAL METHOD USING SUCH ADHERED-MATTER REMOVING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE RETRAIT DE SUBSTANCE EN ADHÉSION, SYSTÈME DE DÉPÔT EN PHASE VAPEUR METTANT EN ŒUVRE CE DISPOSITIF, ET PROCÉDÉ DE RETRAIT
(JA) 付着物除去装置と、該付着物除去装置を用いた蒸着システムおよび除去方法
Abrégé : front page image
(EN)This adhered-matter removing device (5A) is a device for removing adhered matter that has adhered to a workpiece (30). The adhered-matter removing device (5A) is provided with the following: a particulate spray means (50) that faces the workpiece (30) and sprays, towards the workpiece (30), particulates which sublimate in an atmosphere thereby exfoliating adhered matter from the workpiece (30); and a dry gas supply means (52) that supplies dry gas to the atmosphere in which the particulate spray means (50) sprays the particulates onto the workpiece (30).
(FR)Le dispositif de retrait de substance en adhésion (5A) de l'invention retire une substance en adhésion se trouvant sur une pièce (30), et est équipé : d'un moyen de pulvérisation de corps granulaires (50) qui est orienté vers la pièce (30), qui pulvérise vers la pièce (30) des corps granulaires sublimés à l'intérieur de l'atmosphère, et qui décolle ainsi la substance en adhésion de la pièce (30) ; et d'un moyen d'alimentation en gaz sec (52) qui alimente en gaz sec l'atmosphère dans laquelle sont projetés lesdits corps granulaires sur la pièce (30) par le moyen de pulvérisation de corps granulaires (50).
(JA)本発明の付着物除去装置(5A)は、ワーク(30)に付着した付着物を除去する付着物除去装置(5A)であって、ワーク(30)に向けて、雰囲気内で昇華する粒状体をワーク(30)に向けて噴射して、ワーク(30)から付着物を剥離させる粒状体噴射手段(50)と、粒状体噴射手段(50)によってワーク(30)上に前記粒状体を噴射する雰囲気にドライガスを供給するドライガス供給手段(52)とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)