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1. (WO2014076755) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE D'ÉTAT DE PRODUCTION DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/076755    N° de la demande internationale :    PCT/JP2012/079367
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 13.11.2012
CIB :
H05K 13/08 (2006.01), H05K 13/04 (2006.01)
Déposants : FUJI MACHINE MFG. CO., LTD. [JP/JP]; 19, Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686 (JP)
Inventeurs : ESAKI Hirotake; (JP).
INAGAKI Mitsutaka; (JP).
AMANO Masafumi; (JP).
MORIKAMI Ken; (JP)
Mandataire : KOBAYASHI Osamu; KAWASHIMA Bldg. 2nd Floor, 19-13, Kanayamacho 1-chome, Atsuta-ku, Nagoya-shi, Aichi 4560002 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE PRODUCTION STATE MONITORING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE D'ÉTAT DE PRODUCTION DE SUBSTRAT
(JA) 基板生産状況監視装置
Abrégé : front page image
(EN)This substrate production state monitoring device is provided with: a camera unit that is disposed on a substrate work apparatus for executing specific work on a substrate, captures video of the state of execution of the work, and outputs video data; a data operation unit that receives, saves, and displays the video data; a trigger event detection unit that detects, as a trigger event, a change event in which the work execution conditions change within the substrate work apparatus and/or an error precursor event indicating an event that will develop into a work error; and an image capture starting means for, when the trigger event detection unit detects a trigger event, causes the camera unit to begin video capture and causes the image data to be temporarily stored by the data operation unit in data units having a prescribed length. As a result of the foregoing, work error can be prevented preemptively, the storage capacity of a memory device for saving video data can be reduced, and it becomes possible to efficiently respond when a work error or an precursor event thereof occurs.
(FR)L'invention concerne un dispositif de surveillance d'état de production de substrat pourvu : d'une caméra qui est disposée sur un appareil de travail de substrat pour exécuter un travail spécifique sur un substrat, capture une vidéo de l'état d'exécution du travail et émet les données vidéo ; d'une unité d'exploitation de données qui reçoit, enregistre et affiche les données vidéo ; d'une unité de détection d'événement déclencheur qui détecte, en tant qu'événement déclencheur, un événement lié à un changement dans lequel les conditions d'exécution du travail changent dans l'appareil de travail de substrat et/ou un événement précurseur lié à une erreur indiquant un événement qui se transformera en une erreur de travail ; et d'un moyen de démarrage de capture d'images faisant en sorte que, lorsque l'unité de détection d'événement déclencheur détecte un événement déclencheur, la caméra commence une capture vidéo et que les données vidéos soient temporairement enregistrées par l'unité d'exploitation des données dans des unités de données présentant une longueur prédéfinie. En conséquence, une erreur de travail peut être évitée de façon préventive, la capacité de stockage d'un dispositif de mémoire pour enregistrer des données vidéo peut être réduite, et il devient possible de réagir efficacement si une erreur de travail ou un événement précurseur associé se produit.
(JA) 本発明の基板生産状況監視装置は、基板に所定の作業を施す基板用作業機器に設けられ作業の実施状況を動画で撮像して動画データを出力するカメラ部と、動画データを受け取り保存して表示するデータ操作部と、基板用作業機器内で作業の実施条件が変化する変化事象および作業が作業エラーとなる兆候を示すエラー兆候事象の少なくとも一方をトリガー事象として検出するトリガー事象検出部と、トリガー事象検出部がトリガー事象を検出するとカメラ部に動画撮像を開始させ、データ操作部に当該動画データを所定データ長単位で一時記憶させる撮像開始手段と、を備えた。これにより、作業エラーを未然に防止することができ、動画データを保存するためのメモリ装置の記憶容量を低減でき、作業エラーやその兆候事象が発生したときに効率的な対応が可能になる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)