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1. (WO2014075917) PROCÉDÉ PERMETTANT D'ATTRIBUER UNE FACETTE DE PUPILLE D'UN MIROIR À FACETTES DE PUPILLE D'UNE UNITÉ OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE D'UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION À UNE FACETTE DE CHAMP D'UN MIROIR À FACETTES DE CHAMP DE L'UNITÉ OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/075917    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/072622
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 29.10.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : PATRA, Michael; (DE)
Mandataire : RAU, SCHNECK & HÜBNER; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 220 596.9 13.11.2012 DE
61/725 651 13.11.2012 US
Titre (EN) METHOD FOR ASSIGNING A PUPIL FACET OF A PUPIL FACET MIRROR OF AN ILLUMINATION OPTICAL UNIT OF A PROJECTION EXPOSURE APPARATUS TO A FIELD FACET OF A FIELD FACET MIRROR OF THE ILLUMINATION OPTICAL UNIT
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT D'ATTRIBUER UNE FACETTE DE PUPILLE D'UN MIROIR À FACETTES DE PUPILLE D'UNE UNITÉ OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE D'UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION À UNE FACETTE DE CHAMP D'UN MIROIR À FACETTES DE CHAMP DE L'UNITÉ OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE
Abrégé : front page image
(EN)Method for assigning a pupil facet of a pupil facet mirror of an illumination optical unit (23) of a projection exposure apparatus (1) to a field facet of a field facet mirror (6) of the illumination optical unit for the definition of an illumination channel for a partial beam of illumination light (3), which, proceeding from a light source, is reflected at the field facet and at the pupil facet assigned by means of the method toward an object field illuminated by the illumination optical unit.
(FR)La présente invention concerne un procédé qui permet d'attribuer une facette de pupille d'un miroir à facettes de pupille d'une unité optique d'éclairage (23) d'un appareil d'exposition par projection (1) à une facette de champ d'un miroir à facettes de champ (6) de l'unité optique d'éclairage pour la délimitation d'un canal d'éclairage destiné à un faisceau partiel d'une lumière d'éclairage (3). Ce faisceau partiel en provenance d'une source de lumière est réfléchi sur la facette de champ et sur la facette de pupille attribuée au moyen dudit procédé vers un champ d'objet éclairé par l'unité optique d'éclairage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)