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1. (WO2014075759) DYNAMOMÈTRE PIÉZOÉLECTRIQUE À COUCHE ANTI-USURE INTÉGRÉE ET PRÉSENTANT DES PROPRIÉTÉS DE GLISSEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/075759    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/003177
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 22.10.2013
CIB :
G01L 1/16 (2006.01), G01L 1/20 (2006.01)
Déposants : OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, TRÜBBACH [CH/CH]; Hauptstrasse 53 CH-9477 Trübbach (CH)
Inventeurs : JANSSEN, Albert Peter Gerhard; (CH).
GSTOEHL, Oliver; (CH)
Mandataire : KEMPKENS, Anke; Kanzlei Kempkens Hofgraben 486 86899 Landsberg am Lech (DE)
Données relatives à la priorité :
DE 10 2012 022 113.4 13.11.2012 DE
Titre (DE) PIEZOELEKTRISCHE KRAFTMESSVORRICHTUNG MIT INTEGRIERTEN VERSCHLEISSSCHUTZ- UND GLEITEIGENSCHAFTEN
(EN) PIEZOELECTRIC FORCE MEASURING DEVICE HAVING INTEGRATED WEAR-PROTECTION AND ANTI-FRICTIONAL PROPERTIES
(FR) DYNAMOMÈTRE PIÉZOÉLECTRIQUE À COUCHE ANTI-USURE INTÉGRÉE ET PRÉSENTANT DES PROPRIÉTÉS DE GLISSEMENT
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Kraftmessvorrichtung, die eine auf zumindest einem Teil einer Oberfläche eines Festkörperaktors (bzw. Träger) angeordnete kristalline Schicht mit piezoelektrischen Eigenschaften und zumindest eine Verschleissschutzschicht mit Gleiteigenschaften umfasst, wobei die piezoelektrische Schicht aus kristallinem Aluminiumnitrid besteht, das eine hexagonale Kristallstruktur aufweist mit ausgeprägter Kristallorientierung (002), wobei zwischen der Oberfläche des Festkörperaktors und der kristallinen Aluminiumnitrid-Schicht zumindest eine elektrisch-leitende Schicht angebracht wird, die bevorzugt eine metallische Schicht aus zumindest einem Metall ist, welches wenn oxidiert ein elektrisch-isolierendes Oxid bildet, das mechanisch und thermisch stabiler als Molybdän(VI)-oxid (MoO3) ist.
(EN)The invention relates to a force measuring device comprising a crystalline layer with piezoelectric properties, said layer being arranged on at least part of a surface of a solid state actuator (or carrier), and comprising at least one wear-protection layer with anti-frictional properties. The piezoelectric layer consists of crystalline aluminium nitride having a hexagonal crystal structure with a pronounced crystal orientation (002), at least one electrically conductive layer being applied between the surface of the solid-state actuator and the crystalline aluminium nitride layer, said conductive layer being preferably a metal layer consisting of at least one metal, which when oxidized, forms an electrically insulating oxide that is mechanically and thermally more stable than molybdenum(VI) oxide (MoO3).
(FR)L'invention concerne un dynamomètre qui comprend une couche cristalline aux propriétés piézoélectriques, disposée sur au moins une partie d'une surface d'un actionneur monolithique (par ex. support) et au moins une couche anti-usure présentant des propriétés de glissement, la couche piézoélectrique se composant de nitrure d'aluminium cristallin qui présente une structure cristalline hexagonale à orientation cristalline (002) marquée. Au moins une couche électroconductrice est disposée entre la surface de l'actionneur monolithique et la couche de nitrure d'aluminium cristallin, ladite couche électroconductrice étant de préférence une couche métallique consistant en un métal qui est plus stable que l'oxyde de molybdène(VI) (MoO3).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)