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1. (WO2014075402) CAPTEUR MICROMÉCANIQUE DE CHAMP MAGNÉTIQUE ET APPLICATION DE CE CAPTEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/075402    N° de la demande internationale :    PCT/CN2013/071256
Date de publication : 22.05.2014 Date de dépôt international : 01.02.2013
CIB :
G01R 33/028 (2006.01), B81B 7/02 (2006.01)
Déposants : SHANGHAI INSTITUTE OF MICROSYSTEM AND INFORMATION TECHNOLOGY,CHINESE ACADEMY OF SCIENCES [CN/CN]; No.865,Changning Road, Changning District Shanghai 200050 (CN)
Inventeurs : XIONG, Bin; (CN).
WU, Guoqiang; (CN).
XU, Dehui; (CN).
WANG, Yuelin; (CN)
Mandataire : J.Z.M.C PATENT AND TRADEMARK LAW OFFICE; YU Mingwei,Room 5022 No.335,GUO Ding Road YANG Pu district Shanghai 200433 (CN)
Données relatives à la priorité :
201210470215.0 19.11.2012 CN
Titre (EN) MICROMECHANICAL MAGNETIC FIELD SENSOR AND APPLICATION THEREOF
(FR) CAPTEUR MICROMÉCANIQUE DE CHAMP MAGNÉTIQUE ET APPLICATION DE CE CAPTEUR
(ZH) 微机械磁场传感器及其应用
Abrégé : front page image
(EN)A micromechanical magnetic field sensor (93) and an application thereof. The micromechanical magnetic field sensor (93) at least comprises a resonant oscillator pair, and insulating layers (6) and metal wire coils (7) that are sequentially formed on the surfaces of the resonant oscillator pair. The differential capacitor excitation and electromagnetic induction are utilized to measure the size of a magnetic field, two resonant oscillator structures (1) forming the resonant oscillator pair work in anti-phase modes, the metal induction coils (7) on the resonant oscillator structures (1) are wound in the same direction, and induced electromotive forces generated by the metal induction coils (7) on the two resonant oscillator structures (1) are connected with each other in series. As a drive signal is a differential signal, a capacitive coupling signal in an output signal is eliminated to acquire a simplex magnetic field output signal. Meanwhile, the two resonant oscillator structures (1) are coupled through a coupling structure, so that the two resonant oscillator structures (1) act in an integrally connected manner. Further, the micromechanical magnetic field sensor (93) has the advantages of simple structure, less temperature influence, large output signal, high sensitivity, high detection accuracy and suitability for high working frequency.
(FR)La présente invention concerne un capteur micromécanique de champ magnétique (93) et une application de ce capteur. Le capteur micromécanique de champ magnétique (93) comprend au moins une paire d'oscillateurs résonnants, et des couches isolantes (6) et des bobines de fil métallique (7) formées séquentiellement sur les surfaces de la paire d'oscillateurs résonnants. L'excitation différentielle de condensateurs et l'induction électromagnétique sont utilisées pour mesurer la taille d'un champ magnétique, deux structures (1) d'oscillateur résonnant formant la paire d'oscillateurs résonnants fonctionnent dans des modes antiphase, les bobines métalliques d'induction (7) se trouvant sur les structures (1) d'oscillateur résonnant sont enroulées dans la même direction, et les forces électromotrices induites générées par les bobines métalliques d'induction (7) se trouvant sur les deux structures (1) d'oscillateur résonnant sont connectées les unes aux autres en série. Comme le signal d'excitation est un signal différentiel, un signal de couplage capacitif est éliminé d'un signal de sortie, ce qui permet d'acquérir un signal de sortie de champ magnétique unidirectionnel. Dans le même temps, les deux structures (1) d'oscillateur résonnant sont couplées par l'intermédiaire d'une structure de couplage, de sorte que les deux structures (1) d'oscillateur résonnant fonctionnent d'une manière intégralement connectée. En outre, le capteur micromécanique de champ magnétique (93) présente comme avantages d'avoir une structure simple, d'être peu influencé par la température, de produire un signal de sortie important, d'être très sensible, de permettre une détection très précise et d'être adapté à une fréquence de travail élevée.
(ZH)一种微机械磁场传感器(93)及其应用,所述微机械磁场传感器(93)至少包括:谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层(6)及金属线圈(7)。利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小,其中,构成谐振振子对的两个谐振振子结构(1)工作在反相位模式,各该谐振振子结构(1)上的金属感应线圈(7)环绕方向相同,两个谐振振子结构(1)上的金属感应线圈(7)产生的感应电动势相互串联;由于驱动信号是差分信号,消除输出信号中的容性耦合信号,以获得单纯的磁场输出信号;同时,利用耦合结构将两个谐振振子结构(1)耦合起来使两个谐振振子结构(1)连接为一体运动;进一步,该微机械磁场传感器(93)结构简单,受温度影响小,输出信号大,灵敏度高,检测的准确度高,适合高工作频率。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)