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1. (WO2014062406) CHAMBRE D'ORIENTATION DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/062406    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/063744
Date de publication : 24.04.2014 Date de dépôt international : 07.10.2013
CIB :
H01L 21/02 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : KITAMURA, Shin; (JP).
AOKI, Yuji; (JP)
Mandataire : TABOADA, Alan; Moser Taboada 1030 Broad Street Suite 203 Shrewsbury, New Jersey 07702 (US)
Données relatives à la priorité :
61/716,114 19.10.2012 US
14/046,439 04.10.2013 US
Titre (EN) SUBSTRATE ORIENTER CHAMBER
(FR) CHAMBRE D'ORIENTATION DE SUBSTRAT
Abrégé : front page image
(EN)Orienter chambers for determining the orientation of a substrate in a substrate processing system are provided. In some embodiments, an orienter chamber includes a housing enclosing an interior volume; a rotatable stage disposed inside the housing including a substrate support surface adapted to support a substrate; a light source disposed above the stage and positioned to provide illuminating light to the outer circumference of a substrate when the substrate is loaded on the rotatable stage, wherein the illuminating light from the light source is inclined toward the center of the substrate by an angle from a vertical line that extends perpendicular to the substrate support surface; a light-receiving unit having a light-receiving surface on which are arranged a plurality of light-receiving elements that receive the illuminating light from the light source; and an analysis unit that analyzes the illuminating light received by the light-receiving elements.
(FR)Cette invention concerne des chambres d'orientation destinées à déterminer l'orientation d'un substrat dans un système de traitement de substrats. Selon certains modes de réalisation, une chambre d'orientation comprend : un boîtier qui définit un volume intérieur ; un étage rotatif disposé à l'intérieur du boîtier, comprenant une surface de support de substrat conçue pour supporter un substrat ; une source lumineuse disposée au-dessus de l'étage et positionnée de manière à transmettre une lumière d'éclairage sur la circonférence extérieure d'un substrat quand le substrat est chargé sur l'étage rotatif, la lumière d'éclairage issue de la source lumineuse étant inclinée vers le centre du substrat de façon à former un angle par rapport à une verticale qui s'étend perpendiculairement à la surface de support de substrat ; une unité de réception de lumière présentant une surface de réception de lumière sur laquelle sont agencés plusieurs éléments de réception de lumière qui reçoivent la lumière d'éclairage de la source lumineuse ; et une unité d'analyse qui analyse la lumière d'éclairage reçue par les éléments de réception d'éclairage.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)