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1. (WO2014062351) APPAREIL D'ALIMENTATION EN MATIÈRE CIBLE POUR SOURCE DE LUMIÈRE EN ULTRAVIOLET EXTRÊME (UVE)
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/062351    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/061764
Date de publication : 24.04.2014 Date de dépôt international : 25.09.2013
CIB :
G21K 5/00 (2006.01), G01J 1/04 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; (A Netherlands Corporation) P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : DE DEA, Silvia; (US).
VASCHENKO, Georgiy, O.; (US).
BAUMGART, Peter, M.; (US).
BOWERING, Norbert, R.; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph, A.; Cymer, LLC Legal Dept. MS/4-2D 17075 Thornmint Court San Diego, CA 92127-2413 (US)
Données relatives à la priorité :
13/652,755 16.10.2012 US
Titre (EN) TARGET MATERIAL SUPPLY FOR AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
(FR) APPAREIL D'ALIMENTATION EN MATIÈRE CIBLE POUR SOURCE DE LUMIÈRE EN ULTRAVIOLET EXTRÊME (UVE)
Abrégé : front page image
(EN)A target material supply apparatus for an extreme ultraviolet (EUV) light source includes a tube that includes a first end, a second end, and a sidewall defined between the first and second ends. At least a portion of an outer surface of the tube includes an electrically insulating material, the first end receives a pressurized target material, and the second end defines an orifice through which the pressurized target material passes to produce a stream of target material droplets, The target material supply apparatus also includes an electrically conductive coating on the outer surface of the tube. The coating is configured to electrically connect the outer surface of the tube to ground to thereby reduce surface charge on the outer surface.
(FR)La présente invention porte sur un appareil d'alimentation en matière cible pour source de lumière en ultraviolet extrême (UVE), qui comprend un tube qui comprend une première extrémité, une seconde extrémité et une paroi latérale définie entre les première et seconde extrémités. Au moins une partie d'une surface extérieure du tube comprend une matière électriquement isolante, la première extrémité reçoit une matière cible mise sous pression et la seconde extrémité définit un orifice que traverse la matière cible mise sous pression pour produire un courant de gouttelettes de matière cible. L'appareil d'alimentation en matière cible comprend également un revêtement électroconducteur sur la surface extérieure du tube. Le revêtement est configuré pour relier électriquement la surface extérieure du tube à la terre pour ainsi réduire une charge de surface sur la surface extérieure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)