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1. (WO2014062323) SUPPORT DE CADRE DE MASQUAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/062323    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/059937
Date de publication : 24.04.2014 Date de dépôt international : 16.09.2013
CIB :
C23C 16/00 (2006.01), C23C 16/04 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : OHASHI, Kengo; (JP).
HASHIMOTO, Takao; (JP).
ABE, Shinobu; (JP)
Mandataire : PATTERSON, Todd, B.; Patterson & Sheridan, LLP 24 Greenway Plaza, Suite 1600 Houston, TX 77046 (US)
Données relatives à la priorité :
61/715,719 18.10.2012 US
Titre (EN) SHADOW FRAME SUPPORT
(FR) SUPPORT DE CADRE DE MASQUAGE
Abrégé : front page image
(EN)The present invention generally provides a processing chamber having shadow frame supports that direct cleaning gas flow to the corners of the chamber. The shadow frame supports are disposed along part of the chamber walls, thus leaving the corners unoccupied. During cleaning, the shadow frame is disposed in a way that it rests on both the substrate support and the shadow frame supports. Therefore, the cleaning gas flowing along the chamber walls is blocked by the shadow frame supports and the cleaning gas is forced to the corners since the shadow frame supports do not extend to the corners.
(FR)La présente invention se rapporte, en règle générale, à une chambre de traitement qui comporte des supports de cadre de masquage qui dirigent un écoulement de gaz de nettoyage vers les coins de la chambre. Les supports de cadre de masquage sont disposés le long d'une partie des parois de la chambre, ce qui permet de laisser les coins inoccupés. Pendant le nettoyage, le cadre de masquage est disposé de telle manière qu'il reste à la fois sur le support de substrat et les supports de cadre de masquage. Par conséquent, l'écoulement de gaz de nettoyage le long des parois de la chambre est bloqué par les supports de cadre de masquage et le gaz de nettoyage est forcé de se diriger vers les coins puisque les supports de cadre de masquage ne s'étendent pas jusqu'aux coins.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)