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1. (WO2014060149) SYSTÈME DE CAPTEUR POUR LITHOGRAPHIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/060149    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/068669
Date de publication : 24.04.2014 Date de dépôt international : 10.09.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : KOK, Haico; (NL).
VOOGD, Robbert Jan; (BE)
Mandataire : VAN DE VEN, Jan-Piet; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/715,167 17.10.2012 US
Titre (EN) SENSOR SYSTEM FOR LITHOGRAPHY
(FR) SYSTÈME DE CAPTEUR POUR LITHOGRAPHIE
Abrégé : front page image
(EN)A sensor system to measure a physical quantity, the system including a parallel detection arrangement with multiple detectors to allow measurements in parallel at different spatial locations, wherein the multiple detectors share a noise source, wherein the sensor system is configured such that the multiple detectors each output a signal as a function of the physical quantity, and wherein the sensor system is configured such that at least one detector responds differently to noise originating from the shared noise source than the one or more other detectors.
(FR)La présente invention porte sur un système de capteur pour mesurer une quantité physique, le système comprenant un agencement de détection parallèle ayant de multiples détecteurs pour autoriser des mesures en parallèle au niveau de différentes positions spatiales, les multiples détecteurs partageant une source de bruit, le système de capteur étant configuré de telle sorte que les multiples détecteurs délivrent chacun en sortie un signal en fonction de la quantité physique et le système de capteur étant configuré de telle sorte qu'au moins un détecteur réponde à un bruit provenant de la source de bruit partagée de manière différente de l'autre ou des autres détecteurs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)