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1. (WO2014031378) PROCÉDÉS ET APPAREILS POUR LA COMMANDE AMÉLIORÉE DE DÉBIT DE GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/031378    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/054522
Date de publication : 27.02.2014 Date de dépôt international : 12.08.2013
CIB :
F16K 37/00 (2006.01), F16K 21/00 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : GREGOR, Mariusch; (US).
LANE, John W.; (US).
RICE, Michael Robert; (US).
HOUGH, Justin; (US)
Mandataire : DUGAN, Brian M.; Dugan & Dugan, PC 245 Saw Mill River Road, Suite 309 Hawthorne, New York 10532 (US)
Données relatives à la priorité :
13/591,212 21.08.2012 US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR ENHANCED GAS FLOW RATE CONTROL
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREILS POUR LA COMMANDE AMÉLIORÉE DE DÉBIT DE GAZ
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are methods and apparatus for controlling gas flow to a semiconductor-processing chamber. Methods and apparatus include deactivating ratio setpoint feedback control in a flow ratio controller; initiating gas flow through the flow ratio controller; moving valves of the flow ratio controller to a preset position based on a stored position when an upstream pressure reaches a stored upstream pressure value, wherein the stored position and the stored upstream pressure value were stored during a prior process run; determining that steady state flow ratio controller output flows have been reached; and activating ratio setpoint feedback control in the flow ratio controller. Numerous additional features are disclosed.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil pour la commande d'écoulement de gaz vers une chambre de traitement de semi-conducteurs. Les procédés et l'appareil comprennent la désactivation de contrôle par rétroaction de point de consigne de rapport dans un régulateur de rapport de débit ; le déclenchement d'écoulement de gaz à travers le régulateur de rapport de débit ; le déplacement de soupapes du régulateur de rapport de débit vers une position préétablie sur la base d'une position stockée lorsque la pression amont atteint une valeur de pression amont stockée, la position stockée et la valeur de pression en amont stockée ont été stockées lors d'un essai de procédé précédent ; la détermination que des débits de sortie du régulateur de rapport de débit à l'état stable ont été atteints ; et l'activation de contrôle à rétroaction dans le régulateur de rapport de débit ; et l'activation de contrôle par rétroaction de point de consigne dans le régulateur de rapport de débit. L'invention concerne également d'autres caractéristiques additionnelles.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)