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1. WO2014026818 - DISPOSITIF D'OBSERVATION POUR DISPOSITIF SOUS VIDE

Numéro de publication WO/2014/026818
Date de publication 20.02.2014
N° de la demande internationale PCT/EP2013/065064
Date du dépôt international 17.07.2013
CIB
B01J 3/00 2006.01
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
JPROCÉDÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES, p.ex. CATALYSE OU CHIMIE DES COLLOÏDES; APPAREILLAGE APPROPRIÉ
3Procédés utilisant une pression supérieure ou inférieure à la pression atmosphérique pour obtenir des modifications chimiques ou physiques de la matière; Appareils à cet effet
CPC
B01J 3/004
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
3Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
004Sight-glasses therefor
G02B 7/007
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
007Pressure-resistant sight glasses
Déposants
  • CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH [DE]/[DE]
Inventeurs
  • MARGRAF, Jörg
Mandataires
  • STICHT, Andreas
Données relatives à la priorité
10 2012 107 497.616.08.2012DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) BEOBACHTUNGSEINRICHTUNG FÜR EINE VAKUUMVORRICHTUNG
(EN) OBSERVATION DEVICE FOR A VACUUM DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'OBSERVATION POUR DISPOSITIF SOUS VIDE
Abrégé
(DE)
Es wird eine Beobachtungseinrichtung (10) für eine Vakuumvorrichtung (117), beispielsweise eine Beschichtungsvorrichtung, bereitgestellt, bei welchem ein Fensterelement (17) durch Bewegen eines beweglichen Elements (14) auf einfache Weise getauscht werden kann, ohne eine Vakuum in der Vakuumvorrichtung (117) wesentlich zu stören.
(EN)
The invention relates to an observation device (10) for a vacuum device (117), for example a coating device, in which a window element (17) can be easily exchanged by moving a moveable element (14) without essentially interfering with the vacuum in the vacuum device (117).
(FR)
L'invention concerne un dispositif d'observation (10) pour un dispositif sous vide (117), par exemple un dispositif de revêtement, un élément fenêtre (17) pouvant être facilement remplacé par déplacement d'un élément (14) mobile de manière simple sans perturber notablement le vide régnant dans le dispositif sous vide (117).
Également publié en tant que
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