WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2014025637) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR MANIPULER DES PIÈCES À TRAVAILLER DE TAILLES DIFFÉRENTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/025637    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/053398
Date de publication : 13.02.2014 Date de dépôt international : 02.08.2013
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/687 (2006.01)
Déposants : NORDSON CORPORATION [US/US]; 28601 Clemens Road Westlake, OH 44145-1119 (US)
Inventeurs : FAZIO, James, P.; (US).
FOOTE, David, K.; (US).
GETTY, James, D.; (US)
Mandataire : ALLEN, William, R.; Wood, Herron & Evans, LLP 2700 Carew Tower 441 Vine Street Cincinnati, OH 45202-2917 (US)
Données relatives à la priorité :
13/567,507 06.08.2012 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHODS FOR HANDLING WORKPIECES OF DIFFERENT SIZES
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS POUR MANIPULER DES PIÈCES À TRAVAILLER DE TAILLES DIFFÉRENTES
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus and methods for plasma processing workpieces of different diameters. The apparatus includes a lift plate (52) having an outer perimeter (65), an opening (70) inside of the outer perimeter (65), and a gap (72) extending between the opening (70) and the outer perimeter (65). The lift plate (52) includes annular rims (120) of different inner diameters and that are configured to respectively support the first and second workpieces (28, 30).
(FR)L'invention porte sur un appareil et sur des procédés pour traiter au plasma des pièces à travailler de diamètres différents. L'appareil comprend une plaque de soulèvement (52) ayant une périphérie externe (65), une ouverture (70) à l'intérieur de la périphérie externe (65), et un espace (72) s'étendant entre l'ouverture (70) et la périphérie externe (65). La plaque de soulèvement (52) comprend des rebords annulaires (120) de différents diamètres internes, et qui sont configurés de façon à tenir, respectivement, les première et seconde pièces à travailler (28, 30).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)