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1. (WO2014024865) APPAREIL D'ALIMENTATION DE CIBLE ET APPAREIL DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE DANS L'ULTRAVIOLET EXTRÊME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/024865    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/071215
Date de publication : 13.02.2014 Date de dépôt international : 06.08.2013
CIB :
H01L 21/027 (2006.01), H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400 Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventeurs : OKAZAKI Shinji; (JP).
ISHIHARA Takanobu; (JP).
SHIRAISHI Yutaka; (JP)
Mandataire : KINOSHITA & ASSOCIATES; 3rd floor, Ogikubo TM building, 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-ku, Tokyo 1670051 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-176253 08.08.2012 JP
Titre (EN) TARGET SUPPLY APPARATUS AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATING APPARATUS
(FR) APPAREIL D'ALIMENTATION DE CIBLE ET APPAREIL DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE DANS L'ULTRAVIOLET EXTRÊME
(JA) ターゲット供給装置及び極端紫外光生成装置
Abrégé : front page image
(EN)A target supply apparatus (7) may be provided with: a tank (71) that includes a storing section (71a) for storing a target substance, and a supply section (71b), which communicates with the storing section (71a), and which has the target substance flowed thereto; a nozzle (72) that includes a nozzle port (72a), which communicates with the supply section (71b), and which has the target substance supplied thereto; and a coating section (8) that covers the wall surface of the nozzle port (72a).
(FR)La présente invention porte sur un appareil d'alimentation de cible (7) qui peut comprendre : une cuve (71) qui comprend une section de stockage (71a) pour stocker une substance cible, et une section d'alimentation (71b) qui communique avec la section de stockage (71a) et qui a la substance cible circulant sur celle-ci ; une buse (72) qui comprend un port de buse (72a), qui communique avec la section d'alimentation (71b), et qui a la substance cible alimentée sur celle-ci ; et une section d'enrobage (8) qui couvre la surface de paroi du port de buse (72a).
(JA) ターゲット供給装置(7)は、ターゲット物質を貯蔵する貯蔵部(71a)と、貯蔵部(71a)に連通してターゲット物質が流入する供給部(71b)とを含むタンク(71)と、供給部(71b)に連通してターゲット物質が供給されるノズル孔(72a)を含むノズル(72)と、ノズル孔(72a)の壁面を覆うコーティング部(8)と、を備えてもよい。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)