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1. (WO2014024738) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE COLLECTE DE DONNÉES, ET PROGRAMME ASSOCIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/024738    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/070681
Date de publication : 13.02.2014 Date de dépôt international : 31.07.2013
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : MATSUDA, Katsuhiko; (JP)
Mandataire : KOHNO, Hideto; KOHNO & KOHNO, 4-3, Tsuriganecho 2-chome, Chuo-ku, Osaka-shi, Osaka 5400035 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-174099 06.08.2012 JP
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, DATA COLLECTION METHOD, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE COLLECTE DE DONNÉES, ET PROGRAMME ASSOCIÉ
(JA) 基板処理装置、データ収集方法及びプログラム
Abrégé : front page image
(EN)Provided are a substrate processing device, a data collection method, and program that can rapidly collect data for setting values and measured values for substrate processing conditions. This substrate processing device processes substrates by setting processing conditions according to a recipe in which processing conditions for processing substrates are prescribed for each of a plurality of processing processes. The substrate processing device is provided with: a storage unit that stores the recipe in which recipe definition (1D) and data collection condition definitions for the recipe definition (1D) are prescribed in correspondence with each processing process for the substrate; a measuring instrument that measures setting values for the processing conditions set when processing substrates according to the recipe description (1D) prescribed in the recipe that the storage unit has stored or measured values that can be acquired; and a collection unit that collects data for the setting values or measured values for the processing conditions that the measurement instrument has measured according to a data collection condition definition prescribed in the recipe that the storage unit has stored.
(FR)L'invention concerne un dispositif de traitement de substrat, un procédé de collecte de données et un programme associé qui peuvent collecter rapidement des données pour des valeurs de réglage et des valeurs mesurées de conditions de traitement de substrat. Ce dispositif de traitement de substrat traite des substrats par réglage de conditions de traitement selon une recette dans laquelle des conditions de traitement pour traiter des substrats sont prescrites pour chacun d'une pluralité de processus de traitement. Le dispositif de traitement de substrat comprend : une unité de stockage qui stocke la recette dans laquelle une définition de recette (1D) et des définitions de condition de collecte de données pour la définition de recette (1D) sont prescrites en correspondance avec chaque processus de traitement pour le substrat ; un instrument de mesure qui mesure des valeurs de réglage pour les conditions de traitement réglées lors du traitement de substrats selon la description de recette (1D) prescrite dans la recette que l'unité de stockage a stocké ou des valeurs mesurées qui peuvent être acquises ; et une unité de collecte qui collecte des données pour les valeurs de réglage ou les valeurs mesurées pour les conditions de traitement que l'instrument de mesure a mesuré selon une définition de condition de collecte de données prescrite dans la recette que l'unité de stockage a stockée.
(JA) 基板の処理条件に関する設定値又は実測値のデータを迅速に収集することができる基板処理装置、データ収集方法及びプログラムを提供する。 基板を処理する処理条件が複数の処理過程毎に規定されたレシピに従って、処理条件を設定して基板を処理する基板処理装置において、基板に対する処理過程夫々に対応して、レシピ記述1D及びレシピ記述1Dに関するデータ収集条件記述が規定されたレシピを記憶する記憶部と、該記憶部が記憶するレシピに規定されたレシピ記述1Dに従って基板を処理する際に設定した処理条件に関する設定値又は取得可能な実測値を計測する計測器と、該計測器が計測した処理条件に関する設定値又は実測値のデータを、前記記憶部が記憶するレシピに規定されたデータ収集条件記述に従って収集する収集部とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)