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1. (WO2014023345) DISPOSITIF AMÉLIORÉ POUR INSPECTER UN OBJET ET PROCÉDÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/023345    N° de la demande internationale :    PCT/EP2012/065478
Date de publication : 13.02.2014 Date de dépôt international : 07.08.2012
CIB :
G01N 21/88 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH [DE/DE]; Carl-Zeiss-Strasse 22 73447 Oberkochen (DE) (Tous Sauf US).
ENGEL, Thomas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : ENGEL, Thomas; (DE)
Mandataire : WITTE, WELLER & PARTNER; Postfach 10 54 62 70047 Stuttgart (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (DE) VERBESSERTE VORRICHTUNG ZUM INSPIZIEREN EINES OBJEKTS UND VERFAHREN
(EN) IMPROVED DEVICE FOR EXAMINING AN OBJECT AND METHOD
(FR) DISPOSITIF AMÉLIORÉ POUR INSPECTER UN OBJET ET PROCÉDÉ
Abrégé : front page image
(DE)Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum optischen Inspizieren eines Objekts (12), mit einem Objektträger (14) zum Tragen des Objekts (12), einer Mustererzeugungseinheit (16) zum Beleuchten des Objekts (12) mit einem Messmuster, einer Bildaufnahmeeinheit (18) zum Aufnehmen von einer Anzahl von Bildern von dem Objekt (12), einer Abbildungsoptik (20) zum Beeinflussen eines Lichtstrahlengangs (22) zwischen dem Objekt (12) und der Bildaufnahmeeinheit (18), und einer Datenverarbeitungseinheit (24), die dazu ausgebildet ist, zumindest eine Eigenschaft des Objekts (12) anhand der Anzahl von Bildern zu bestimmen, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung (10) in mindestens einen ersten Arbeitsabstand (26) und einen zweiten Arbeitsabstand (28) einstellbar ist, und die Vorrichtung des Weiteren eine Streueinheit aufweist, die zwischen einem aktiven Zustand, in dem die Streueinheit (30) den Lichtstrahlengang (22) vor der Mustererzeugungseinheit (16) beeinflusst, und einem inaktiven Zustand, in dem das Streueinheit (30) den Lichtstrahlengang (22) vor der Mustererzeugungseinheit (16) nicht beeinflusst, änderbar ist. Des Weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein verfahren zum Wechseln eines Betriebsmodus einer Vorrichtung (10) zum optischen Inspizieren eines Objekts (12).
(EN)The present invention relates to a device (10) for optically examining an object (12), said device having an object support (14) to support the object (12), a pattern-generating unit (16) to illuminate the object (12) with a measuring pattern, an image recording unit (18) to record a plurality of images of the object (12), imaging optics (20) to influence a light beam path (22) between the object (12) and the image recording unit (18), and a data processing unit (24) designed to determine at least one property of the object (12) with the aid of the plurality of images, characterised in that the device (10) can be set at least at one first working distance (26) and one second working distance (28), and the device also has a scattering unit which can be changed between an active state, in which the scattering unit (30) influences the light beam path (22) upstream of the pattern-generating unit (16), and an inactive state in which the scattering unit (30) does not influence the light beam path (22) upstream of the pattern-generating unit (16). The present invention additionally relates to a method for changing an operating mode of a device (10) for optically examining an object (12).
(FR)La présente invention concerne un dispositif (10) servant à inspecter optiquement un objet (12), comprenant un porte-objet (14) servant à porter l'objet (12), un module générateur de mire (16) servant à éclairer l'objet (12) avec une mire de mesure, un module d'acquisition d'images (18) servant à acquérir une pluralité d'images de l'objet (12), une optique de reproduction (20) servant à agir sur un faisceau lumineux (22) entre l'objet (12) et le module d'acquisition d'images (18), et un module de traitement des données (24) configuré pour déterminer au moins une propriété de l'objet (12) à partir de la pluralité d'images, caractérisé en ce que le dispositif (10) peut être réglé à au moins une première distance de travail (26) et une deuxième distance de travail (28), et en ce que le dispositif comporte en outre un module de dispersion qui peut passer d'un état actif, dans lequel le module de dispersion (30) agit sur le faisceau lumineux (22) avant le module générateur de mire (16), à un état inactif, dans lequel le module de dispersion (30) n'agit pas sur le faisceau lumineux (22) avant le module générateur de mire (16). La présente invention concerne en outre un procédé de changement du mode de fonctionnement d'un dispositif (10) servant à inspecter optiquement un objet (12).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)