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1. (WO2014021370) DISPOSITIF LASER ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION ÉQUIPÉS DUDIT DISPOSITIF LASER
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2014/021370 N° de la demande internationale : PCT/JP2013/070717
Date de publication : 06.02.2014 Date de dépôt international : 31.07.2013
CIB :
G02F 1/37 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,H01S 3/00 (2006.01) ,H01S 3/10 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION[JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331, JP
Inventeurs : TOKUHISA, Akira; JP
Mandataire : NAGAI, Fuyuki; c/o NAGAI & ASSOCIATES, Fukoku Seimei Building, 2-2-2, Uchisaiwaicho, Chiyoda-ku, Tokyo 1000011, JP
Données relatives à la priorité :
2012-16964331.07.2012JP
2012-16964431.07.2012JP
Titre (EN) LASER DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE AND INSPECTION DEVICE EQUIPPED WITH SAID LASER DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION ÉQUIPÉS DUDIT DISPOSITIF LASER
(JA) レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置
Abrégé : front page image
(EN)  This laser device is equipped with: a laser light generation unit (1) that includes a first light source for generating laser light of a first wavelength, and a second light source for generating laser light of a second wavelength; an amplification unit that respectively amplifies the laser light of the first and second wavelengths, and outputs a first amplified light and a second amplified light; a wavelength conversion unit that converts the wavelength of the first amplified light into a first converted light and generates output light from the first converted light and the second amplified light by wavelength conversion, or respectively converts the wavelengths of the first amplified light and the second amplified light into the first converted light and a second converted light and generates the output light from the first converted light and the second converted light by wavelength conversion; and a control unit that controls the operation of the laser light generation unit. The control unit controls the relative timing of the laser light output from the first light source and the laser light output from the second light source, thereby adjusting the temporal overlap of the first converted light and the second amplified light, or the temporal overlap of the first converted light and the second converted light, at the site at which the output light is generated in the wavelength conversion unit, and controlling the output state of the output light.
(FR) La présente invention porte sur un dispositif laser équipé de : une unité de génération de lumière laser (1) qui comprend une première source lumineuse pour génération d'une lumière laser d'une première longueur d'onde et une seconde source lumineuse pour génération d'une lumière laser d'une seconde longueur d'onde ; une unité d'amplification qui amplifie respectivement la lumière laser des première et seconde longueurs d'onde et délivre en sortie une première lumière amplifiée et une seconde lumière amplifiée ; une unité de conversion de longueur d'onde qui convertit la longueur d'onde de la première lumière amplifiée en la première lumière convertie et génère une lumière de sortie à partir de la première lumière convertie et de la seconde lumière amplifiée par conversion de longueur d'onde ou respectivement convertit les longueurs d'onde de la première lumière amplifiée et de la seconde lumière amplifiée en la première lumière convertie et une seconde lumière convertie et génère la lumière de sortie à partir de la première lumière convertie et de la seconde lumière convertie par conversion de longueur d'onde ; et une unité de commande qui commande le fonctionnement de l'unité de génération de lumière laser. L'unité de commande commande la synchronisation relative de la sortie de lumière laser provenant de la source lumineuse et de la sortie de lumière laser provenant de la seconde source lumineuse, réglant ainsi le chevauchement temporel de la première lumière convertie et de la seconde lumière amplifiée ou le chevauchement temporel de la première lumière convertie et de la seconde lumière convertie, au niveau du site au niveau duquel la lumière de sortie est générée dans l'unité de conversion de longueur d'onde et commandant l'état de sortie de la lumière de sortie.
(JA)  レーザ装置は、第1波長のレーザ光を発生する第1光源と第2波長のレーザ光を発生する第2光源とを有するレーザ光発生部1と、第1波長及び第2波長のレーザ光をそれぞれ増幅して第1増幅光と第2増幅光とを出力する増幅部と、第1増幅光を第1変換光に波長変換し、第1変換光と第2増幅光とから波長変換により出力光を発生させるか、または、第1増幅光と第2増幅光とをそれぞれ第1変換光と第2変換光とに波長変換し、第1変換光と第2変換光とから波長変換により出力光を発生させる波長変換部と、レーザ光発生部の作動を制御する制御部とを備え、制御部は、第1光源からのレーザ光の出力と第2光源からのレーザ光の出力との相対的なタイミングを制御することにより、波長変換部における出力光の発生位置において、第1変換光と第2増幅光との時間的な重ね合わせ、または、第1変換光と第2変換光との時間的な重ね合わせを調節して、出力光の出力状態を制御するように構成される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)