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1. (WO2014019803) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/019803    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/064258
Date de publication : 06.02.2014 Date de dépôt international : 05.07.2013
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : NIKIPELOV, Andrey; (NL).
DIJKSMAN, Johan; (NL).
YAKUNIN, Andrei; (NL).
IVANOV, Vladimir; (RU)
Mandataire : SIEM, Max Yoe Shé; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
61/678,560 01.08.2012 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR GENERATING RADIATION
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A method for generating radiation. Directing a first body from a first location. Directing a second body from a second, different location. The first body and second body being used to form a target at a plasma formation location. At least one of the first body and second body comprising a fuel for use in generating a radiation generating plasma. Directing initiating radiation at the target at the plasma formation location to generate a radiation generating plasma from the target.
(FR)La présente invention concerne un procédé permettant de générer un rayonnement. Selon l'invention, le procédé fait appel à l'orientation d'un premier corps depuis une première position et à l'orientation d'un second corps depuis une seconde position différente, le premier corps et le second corps étant utilisés pour former une cible à une position de formation de plasma, le premier corps et/ou le second corps comprenant un combustible prévu pour utilisation dans la production d'un plasma générateur de rayonnement, et à l'orientation du rayonnement initiateur au niveau de la cible à la position de formation de plasma pour générer un plasma générateur de rayonnement à partir de la cible.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)