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1. (WO2014018694) APPAREIL ET PROCÉDÉS DE PRÉPARATION D'ÉCHANTILLON DE FAISCEAU D'IONS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/018694    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/051917
Date de publication : 30.01.2014 Date de dépôt international : 25.07.2013
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), G01N 1/32 (2006.01), H01J 37/305 (2006.01)
Déposants : GATAN, INC. [US/US]; 5794 W. Las Positas Blvd. Pleasanton, California 94588 (US)
Inventeurs : HUNT, John Andrew; (US).
COYLE, Steven Thomas; (US).
HASSEL-SHEARER, Michael; (GB)
Mandataire : HESKE III, Theodore; 1486 Maple Ridge Drive Suwanee, Georgia 30024 (US)
Données relatives à la priorité :
61/676,368 27.07.2012 US
13/949,369 24.07.2013 US
Titre (EN) ION BEAM SAMPLE PREPARATION APPARATUS AND METHODS
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS DE PRÉPARATION D'ÉCHANTILLON DE FAISCEAU D'IONS
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed are embodiments of an ion beam sample preparation apparatus and methods. The methods operate on a sample disposed in a vacuum chamber and include steps of directing an intensity-controllable, tilt-angle controllable ion beam at a sample holder coupled to a rotation stage. The methods further include illuminating and capturing one or more images of the sample, extracting useful features from one or more images and thereafter adjusting the sample preparation steps. Further methods are disclosed for capturing sequences of images, programmatically rotating images, and displaying sequences of images with similar rotation angles. Further methods include extracting useful features from sequences of images that may change with respect to time as ion beam preparation continues
(FR)Conformément à des modes de réalisation, la présente invention concerne un appareil et des procédés de préparation d'échantillon de faisceau d'ions. Les procédés utilisent un échantillon disposé dans une chambre de vide et comprennent des étapes consistant à diriger un faisceau d'ions à intensité et à angle d'inclinaison pouvant être commandés vers un support d'échantillon couplé à un étage de rotation. Les procédés consistent en outre à éclairer et à capturer une ou plusieurs images de l'échantillon, à extraire des caractéristiques utiles à partir d'une ou plusieurs images, puis à ajuster les étapes de préparation d'échantillon. L'invention concerne en outre des procédés pour capturer des séquences d'images, faire tourner de manière programmatique des images, et afficher des séquences d'images avec des angles de rotation similaires. L'invention concerne en outre des procédés qui consistent à extraire des caractéristiques utiles à partir de séquences d'images qui peuvent changer par rapport au temps lorsque la préparation de faisceau d'ions continue.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)