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1. (WO2014017977) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉTERMINATION DE COPLANARITÉ DANS DES CONDITIONNEMENTS DE CIRCUIT INTÉGRÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/017977    N° de la demande internationale :    PCT/SG2012/000267
Date de publication : 30.01.2014 Date de dépôt international : 24.07.2012
CIB :
G01B 11/00 (2006.01), G02B 7/04 (2006.01), G02B 7/24 (2006.01), G02B 27/00 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : GENERIC POWER PTE LTD [SG/SG]; Blk 5004 Ang Mo Kio Ave 5 #03-12 TECHplace II Singapore 569872 (SG) (Tous Sauf US).
TANG, Hak Wee [MY/SG]; (SG) (US Seulement).
YANG, Xulei [CN/SG]; (SG) (US Seulement).
THANT, Zin Oo [MM/SG]; (SG) (US Seulement).
CAO, Ruini [SG/SG]; (SG) (US Seulement)
Inventeurs : TANG, Hak Wee; (SG).
YANG, Xulei; (SG).
THANT, Zin Oo; (SG).
CAO, Ruini; (SG)
Mandataire : NG, Kim Tean; Nanyang Law LLC P.O. Box 1861 Robinson Road Post Office Singapore 903711 (SG)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETERMINING COPLANARITY IN INTEGRATED CIRCUIT PACKAGES
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE DÉTERMINATION DE COPLANARITÉ DANS DES CONDITIONNEMENTS DE CIRCUIT INTÉGRÉ
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for determining coplanarity of three-dimensional features on a substrate comprises a support for an object to be inspected in an object plane, a light source for illuminating the object, a first image capturing device having a first sensor and a first tiltable lens, a second image capturing device having a second sensor and a second tiltable lens, and an image processor to determine the coplanarity. Each tiltable lens is movable from a first variable angle to a second variable angle, with respect to its sensor, so that the respective lens plane and its sensor plane substantially intersect at the object plane in accordance with the Scheimpflug principle and the respective image is in focus across the whole field of view and of uniform light intensity.
(FR)La présente invention porte sur un procédé et un appareil de détermination de coplanarité de caractéristiques tridimensionnelles sur un substrat, qui comprennent un support pour un objet à inspecter dans un plan d'objet, une source lumineuse pour éclairage de l'objet, un premier dispositif de capture d'image ayant un premier capteur et une première lentille apte à être inclinée, un second dispositif de capture d'image ayant un second capteur et une seconde lentille apte à être inclinée et un processeur d'image pour déterminer la coplanarité. Chaque lentille apte à être inclinée est mobile depuis un premier angle variable vers un second angle variable, par rapport à son capteur, de telle sorte que le plan de lentille respectif et son plan de capteur s'intersectent sensiblement au niveau du plan d'objet selon le principe de Scheimpflug et l'image respective est au foyer de part et d'autre de tout le champ de vision et d'intensité lumineuse uniforme.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)