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1. (WO2014016839) PROCÉDÉ ET SYSTÈME OPTIQUES DE MESURE DE CARACTÉRISTIQUES ISOLÉES DE STRUCTURE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/016839    N° de la demande internationale :    PCT/IL2013/050635
Date de publication : 30.01.2014 Date de dépôt international : 24.07.2013
CIB :
G01N 1/00 (2006.01), G01N 21/00 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01)
Déposants : NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. [IL/IL]; Weizmann Scientific Park P.O.B. 266 7610201 Rehovot (IL)
Inventeurs : BARAK, Gilad; (IL).
HAINICK, Yanir; (IL).
SHAFIR, Dror; (IL)
Mandataire : REINHOLD COHN AND PARTNERS; P.O.B. 13239 61131 Tel-Aviv (IL)
Données relatives à la priorité :
61/674,875 24.07.2012 US
Titre (EN) OPTICAL METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING ISOLATED FEATURES OF A STRUCTURE
(FR) PROCÉDÉ ET SYSTÈME OPTIQUES DE MESURE DE CARACTÉRISTIQUES ISOLÉES DE STRUCTURE
Abrégé : front page image
(EN)An optical method and system are presented for use in measurement of isolated features of a structure. According to this technique, Back Focal Plane Microscopy (BFM) measurements are applied to a structure and measured data indicative thereof is obtained, wherein the BFM measurements utilize dark-field detection mode while applying pinhole masking to incident light propagating through an illumination channel towards the structure, the measured data being thereby indicative of a scattering matrix characterizing scattering properties of the structure, enabling identification of one or more isolated features of the structure.
(FR)La présente invention porte sur un procédé et un système optiques pour une utilisation dans une mesure de caractéristiques isolées de structure. Selon cette technique, des mesures par microscopie de plan focal arrière (BFM) sont appliquées à une structure et des données mesurées indicatives de celle-ci sont obtenues, les mesures BFM utilisant un mode de détection en champ sombre tout en appliquant un trou d'épingle masquant une lumière incidente se propageant à travers un canal d'éclairage vers la structure, les données mesurées étant ainsi indicatives d'une matrice de diffusion caractérisant des propriétés de diffusion de la structure, permettant une identification d'une ou plusieurs caractéristiques isolées de la structure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)