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1. (WO2014016200) DISPOSITIF DE TÉLÉMÉTRIE PAR INTERFÉROMÉTRIE ET PROCÉDÉ CORRESPONDANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/016200    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/065222
Date de publication : 30.01.2014 Date de dépôt international : 18.07.2013
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : HEXAGON TECHNOLOGY CENTER GMBH [CH/CH]; Heinrich-Wild-Strasse CH-9435 Heerbrugg (CH)
Inventeurs : JENSEN, Thomas; (CH)
Mandataire : KAMINSKI HARMANN PATENTANWÄLTE AG; Landstrasse 124 FL-9490 Vaduz (LI)
Données relatives à la priorité :
12177582.9 24.07.2012 EP
Titre (DE) INTERFEROMETRISCHE ENTFERNUNGSMESSANORDNUNG UND EBENSOLCHES VERFAHREN
(EN) INTERFEROMETRIC DISTANCE MEASURING ARRANGEMENT AND CORRESPONDING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE TÉLÉMÉTRIE PAR INTERFÉROMÉTRIE ET PROCÉDÉ CORRESPONDANT
Abrégé : front page image
(DE)Eine interferometrische Entfernungsmessanordnung zur Vermessung von Oberflächen mit wenigstens einer durchstimmbaren Laserquelle mit einer Kohärenzlänge zum Erzeugen von mit einer Wellenlängenrampe modulierten Messstrahlung, einem optischen Strahlengang mit einer Sendeoptik zum Emittieren der Messstrahlung auf die Oberfläche und einer Empfangsoptik zum Empfangen der von der Oberfläche zurückgestreuten Messstrahlung weist einen Messarm und einen Referenzarm sowie einen Strahlungsdetektor und einer Auswerteinheit zum Bestimmen der Entfernung von einem Bezugspunkt der Entfernungsmessanordnung zur Oberfläche auf. Hierbei werden durch wenigstens einen Strahlteiler n ≥ 2 Kanäle für die parallele Emission von Messstrahlung definiert, denen jeweils ein unterschiedlicher Teilbereich des durch die Kohärenzlänge definierten Messbereichs zugewiesen wird.
(EN)The invention relates to an interferometric distance measuring arrangement for measuring surfaces, with at least one laser source, which can be tuned, with a coherence length for generating measurement radiation modulated by a wave length ramp, an optical beam path with an optical transmitting system for emitting the measurement radiation to the surface and an optical capturing system for capturing the measurement radiation back-scattered by the surface, comprising a measuring arm and a reference arm and a radiation detector and an evaluation unit for determining the distance from a reference point of the distance measuring device to the surface. Channels are defined by at least one beamsplitter n ≥ 2 for the parallel emission of measurement radiation, respectively one different sub area of the measurement range defined by the coherence length is allocated to the channels.
(FR)L'invention concerne un dispositif de télémétrie par interférométrie conçu pour mesurer des surfaces, comprenant au moins une source de laser accordable présentant une longueur de cohérence pour générer un rayonnement de mesure modulé par une déclivité de longueur d'onde, un trajet optique comprenant un système optique d'émission pour envoyer le rayonnement de mesure sur la surface et un système optique de réception pour recevoir le rayonnement de mesure renvoyée par la surface, un bras de mesure et un bras de référence, ainsi qu'un détecteur de rayonnement et une unité d'évaluation pour déterminer la distance entre un point de référence du dispositif de télémétrie par interférométrie et la surface. Un nombre n de canaux supérieur ou égal à deux (n ≥ 2) sont définis par au moins un séparateur de faisceau pour l'émission parallèle d'un rayonnement de mesure, une partie différente de la zone de mesure définie par la longueur de cohérence étant respectivement allouée aux canaux.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)