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1. (WO2014014181) MÉTHODE D'INSPECTION ET DE RÉPARATION DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/014181    N° de la demande internationale :    PCT/KR2013/002033
Date de publication : 23.01.2014 Date de dépôt international : 14.03.2013
CIB :
G01N 21/88 (2006.01), G02F 1/13 (2006.01)
Déposants : INTEKPLUS CO.,LTD. [KR/KR]; 838beonji, Tamnip-dong Yuseong-gu Daejeon 305-510 (KR)
Inventeurs : LIM, Ssang-Gun; (KR).
KANG, Min-Gu; (KR).
SONG, Jun-Ho; (KR).
LEE, Hyun-Min; (KR).
HAN, Chul-Hee; (KR)
Mandataire : SINJI PATENT FIRM; BYC Bldg. 7Fl., 648-1 Yeoksam-dong Gangnam-gu Seoul 135-080 (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2012-0078931 19.07.2012 KR
Titre (EN) METHOD FOR INSPECTING AND REPAIRING SUBSTRATE
(FR) MÉTHODE D'INSPECTION ET DE RÉPARATION DE SUBSTRATS
(KO) 기판 검사 및 리페어 방법
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a substrate inspection and repair method capable of inspection a defect location through a pattern inspection of a substrate, determining whether a wire has been short circuited or cut at the defect location through image comparison and outputting a signal restoration corresponding to the determined result is carried out such that a defect portion can be automatically restored, and the method comprises: an inspection step of optically inspecting a pattern defect of a substrate and transmitting recorded information on the pattern defect; a reading step of determining whether the pattern defect has a short circuited or cut wire on the basis of the transmitted information on the pattern defect; and a restoration step of performing repair work by recognizing short circuited or cut wire information on the pattern defect.
(FR)Cette invention concerne une méthode d'inspection et de réparation de substrats capable d'inspecter une position de défaut par inspection des motifs d'un substrat, de déterminer si un fil a été court-circuité ou coupé à la position du défaut par comparaison d'images et de générer un signal pour que la restauration correspondant au résultat déterminé soit exécutée de façon qu'une partie de défaut puisse être automatiquement restaurée, ladite méthode comprenant : une étape d'inspection qui consiste à inspecter optiquement un défaut de motif de substrat et à transmettre les informations enregistrées sur ledit défaut de motif ; une étape de lecture consistant à déterminer si le défaut de motif concerne un fil en court-circuit ou coupé en fonction des informations transmises sur ledit défaut de motif ; et une étape de restauration consistant à exécuter une opération de réparation par reconnaissance des informations de fil en court-circuit ou coupé sur le défaut de motif.
(KO)본 발명은 기판의 패턴검사를 통해 불량위치를 검사하고, 영상비교를 통해 불량위치의 단락 또는 단선여부를 판별한 뒤 그에 대응하는 복원이 이루어지도록 신호를 출력하여 자동적으로 불량부위가 복원될 수 있도록 하는 기판 검사 및 리페어 방법에 관한 것으로, 기판의 패턴결함을 광학적으로 검사하고, 이를 기록한 정보를 전송하는 검사단계와, 상기 전송된 패턴결함의 정보에 기초하여 상기 패턴결함의 단락 또는 단선 여부를 판별하는 판독단계와, 상기 패턴결함에 대한 단락 또는 단선 정보를 인식하여, 리페어 작업을 수행하는 복원단계를 포함한다.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)