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1. (WO2014014123) ÉLÉMENT D'IMMERSION DANS UN LIQUIDE ET APPAREIL D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/014123    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/069959
Date de publication : 23.01.2014 Date de dépôt international : 16.07.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventeurs : SATO, Shinji; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; 1-9-2, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1006620 (JP)
Données relatives à la priorité :
61/674,078 20.07.2012 US
61/790,328 15.03.2013 US
Titre (EN) LIQUID IMMERSION MEMBER AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) ÉLÉMENT D'IMMERSION DANS UN LIQUIDE ET APPAREIL D'EXPOSITION
Abrégé : front page image
(EN)A liquid immersion member (5) is used in a liquid immersion exposure apparatus (EX), and forms a liquid immersion space (LS) above an object (P) which is movable below an optical member (13), The liquid immersion member includes a first member (21) that is disposed at at least a portion of surrounding of the optical member, and a second member (22) that is disposed at at least a portion of surrounding of an optical path (K) of exposure light (EL) and is relatively movable with respect to the first member. The second member includes a second upper surface (25) that is opposite to a first lower surface (23) of the first member via a gap, a second lower surface (26) that is capable of being opposite to the object, and a fluid recovery part (27) that is disposed at at least a portion of surrounding of the second lower surface.
(FR)La présente invention porte sur un élément d'immersion dans un liquide (5) qui est utilisé dans un appareil d'exposition par immersion dans un liquide (EX) et forme un espace d'immersion dans un liquide (LS) au-dessus d'un objet (P) qui est mobile au-dessous d'un élément optique (13). L'élément d'immersion dans un liquide comprend un premier élément (21) qui est disposé au niveau d'au moins une partie d'entourage de l'élément optique et un second élément (22) qui est disposé au niveau d'au moins une partie d'entourage d'un trajet optique (K) de lumière d'exposition (EL) et est relativement mobile par rapport au premier élément. Le second élément comprend une seconde surface supérieure (25) qui est opposée à une première surface inférieure (23) du premier élément par l'intermédiaire d'un intervalle, une seconde surface inférieure (26) qui est apte à être opposée à l'objet et une partie récupération de fluide (27) qui est disposée au niveau d'au moins une partie d'entourage de la seconde surface inférieure.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)