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1. (WO2014013925) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE DE FORME CYLINDRIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/013925    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/068933
Date de publication : 23.01.2014 Date de dépôt international : 11.07.2013
CIB :
C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION [JP/JP]; 3-2, Otemachi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008117 (JP)
Inventeurs : YOSUKE Masanori; (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-159966 18.07.2012 JP
2013-122295 11.06.2013 JP
Titre (EN) CYLINDRICAL SPUTTERING TARGET AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE DE FORME CYLINDRIQUE, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELLE-CI
(JA) 円筒形スパッタリングターゲットおよびその製造方法
Abrégé : front page image
(EN)The present invention readily and reliably joins a cylindrical target material and a backing tube, prevents damage to the cylindrical sputtering target, and improves the utilization ratio. One end part of the backing tube (40) is closed off by a dummy plug (60) to form a sealed end part (42). A molten joining material (30) is retained in a recessed joining-material-holding part (72) that is substantially circular in cross section and into which a backing tube provided to a joining-material-filling jig (70) can be inserted. The backing tube (40) with the sealed end part (42) facing downward is inserted with an interposing gap (g) into the interior of a target material (20) mounted on the joining-material-filling jig (70), and is inserted through the target material (20) into the joining-material-holding part (72), whereby the molten joining material (30) is pressed from the joining-material-holding part (72) and filled into the gap (g) between the internal peripheral surface of the target material (20) and the external peripheral surface of the backing tube (40). The joining material (20) is thereafter allowed to solidify and is taken away from the joining-material-filling jig (70), and the dummy plug (60) is removed.
(FR)Selon l'invention, un matériau de cible de forme cylindrique et un tube de support sont soudés de manière simple et sûre, l'endommagement d'une cible de pulvérisation cathodique de forme cylindrique est empêché, et simultanément l'efficacité lors de la mise en œuvre est améliorée. Une des parties extrémité du tube de support (40) sert de partie extrémité scellée (42) par obturation à l'aide d'un faux bouchon (60). Un matériau de joint (30) à l'état de fusion est admis dans une partie support de matériau de joint (72) en forme de creux sensiblement rond selon un plan transversal permettant l'insertion du tube de support (40) d'un outil de remplissage de matériau de joint (70). Le tube de support (40) dont la partie extrémité scellée (42) est orientée vers le bas, est inséré dans la partie interne du matériau de cible (20) posé sur la partie support de matériau de joint (72), tout en conservant un intervalle (g). Par insertion dans la partie support de matériau de joint (72) via le matériau de cible (20), et après extrusion du matériau de joint (30) à l'état de fusion depuis la partie support de matériau de joint (72) et remplissage de l'intervalle (g) formé entre la paroi périphérique interne du matériau de cible (20) et la face périphérique externe du tube de support (40), le matériau de joint (30) est solidifié, puis retiré de outil de remplissage de matériau de joint (70), et le faux bouchon (60) est enlevé.
(JA) 円筒形のターゲット材とバッキングチューブとを容易かつ確実に接合し、円筒形スパッタリングターゲットの破損を防止するとともに、使用効率を向上させる。 バッキングチューブ40の一方の端部をダミー栓60により閉塞して封止端部42としておき、接合材充填治具70に設けられたバッキングチューブを挿入可能な横断面略円形の凹状の接合材保持部72に溶融状態の接合材30を貯留させておき、封止端部42を下方に向けたバッキングチューブ40を、接合材充填治具72にのせたターゲット材20の内部に隙間gをあけて挿入し、該ターゲット材20を通して接合材保持部72に挿入することにより、溶融状態の接合材30を接合材保持部72から押し出してターゲット材20の内周面とバッキングチューブ40の外周面との隙間gに充填した後に固化させ、接合材充填治具70から取り外し、ダミー栓60を除去する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)