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1. (WO2014012912) PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'ÉCLAIRAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/012912    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/064963
Date de publication : 23.01.2014 Date de dépôt international : 16.07.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : ZIMMERMANN, Jörg; (DE).
STÜTZLE, Ralf; (DE).
GRÄUPNER, Paul; (DE).
CONRADI, Olaf; (DE)
Mandataire : RAU, SCHNECK & HÜBNER; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2012 212 664.3 19.07.2012 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM EINSTELLEN EINES BELEUCHTUNGSSETTINGS
(EN) METHOD FOR ADJUSTING AN ILLUMINATION SETTING
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGLAGE D'ÉCLAIRAGE
Abrégé : front page image
(DE)Verfahren zum Einstellen eines Beleuchtungssettings in einer Beleuchtungsoptik (4) mit mindestens einer steuerbaren Korrektureinrichtung (23, 27), welche eine Vielzahl von verstellbaren Korrektur-Elementen zur Beeinflussung der Transmission aufweist, wobei das Beleuchtungssetting zur Anpassung eines vorgegebenen Abbildungs-Parameters im Bereich eines Bildfelds (8) variiert wird.
(EN)Method for adjusting an illumination setting in an optical illumination system (4) by means of at least one controllable corrective device (23, 27) which includes a plurality of adjustable corrective elements to influence transmission. The illumination setting is varied to adjust a predefined imaging parameter in the area of an image field (8).
(FR)L'invention concerne un procédé de réglage d'éclairage d'un système optique d'éclairage (4) à l'aide d'au moins un dispositif de correction (23, 27) contrôlable, qui présente une pluralité d'éléments de correction réglables permettant d'agir sur la transmission, le réglage d'éclairage étant amené à varier pour adapter un paramètre d'image prédéfini dans la zone d'un champ d'image (8).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)