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1. (WO2014011292) SYSTÈME D'INJECTION DE GAZ POUR INSTRUMENTS À FAISCEAU ÉNERGÉTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/011292    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/036554
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 15.04.2013
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Déposants : OMNIPROBE, INC. [US/US]; 10411 Miller Road Dallas, TX 75238 (US)
Inventeurs : KRUGER, Rocky; (US).
SMITH, Aaron; (US).
HARTFIELD, Cheryl; (US)
Mandataire : THOMAS, John; 14801 Quorum Drive Suite 500 Dallas, TX 75254 (US)
Données relatives à la priorité :
61/671,473 13.07.2012 US
Titre (EN) GAS INJECTION SYSTEM FOR ENERGETIC-BEAM INSTRUMENTS
(FR) SYSTÈME D'INJECTION DE GAZ POUR INSTRUMENTS À FAISCEAU ÉNERGÉTIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A gas injection system for an energetic-beam instrument having a vacuum chamber. The system has a cartridge containing a chemical serving as a source for an output gas to be delivered into the vacuum chamber. The cartridge has a reservoir containing the chemical, which rises to a fill line having a level defined by an amount of the chemical present in the reservoir at a given time, An outlet from the reservoir is coupled to an output passage through an outlet valve and configured so that when the system is tilted the outlet remains above the level of the fill line. Embodiments include isolation valves allowing the cartridge to be disconnected without destroying system vacuum.
(FR)La présente invention concerne un système d'injection de gaz pour instrument à faisceau énergétique comprenant une chambre sous vide. Le système comprend une cartouche contenant un composé chimique servant de source pour un gaz de sortie à distribuer à l'intérieur de la chambre sous vide. La cartouche comprend un réservoir contenant le composé chimique, qui atteint une ligne de remplissage ayant un niveau défini par une quantité de composé chimique présent dans le réservoir à un temps donné. Une sortie du réservoir est raccordée à un passage de sortie par l'intermédiaire d'une vanne de sortie et conçue de sorte que, lorsque le système est incliné, la sortie reste au-dessus du niveau de la ligne de remplissage. Certains modes de réalisation comprennent des vannes d'isolement permettant de déconnecter la cartouche sans détruire le vide du système.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)