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1. (WO2014010538) RÉSEAU DE MICROMIROIRS, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE RÉSEAU DE MICROMIROIRS, ET ÉLÉMENTS OPTIQUES UTILISÉS DANS LEDIT RÉSEAU DE MICROMIROIRS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/010538    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/068581
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 08.07.2013
CIB :
G02B 5/08 (2006.01)
Déposants : NITTO DENKO CORPORATION [JP/JP]; 1-2, Shimohozumi 1-chome, Ibaraki-shi, Osaka 5678680 (JP)
Inventeurs : JUNI Noriyuki; (JP)
Mandataire : SAITOH Yukihiko; City Corp. Minamimorimachi 802, 2-7, Minamimorimachi 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300054 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-157827 13.07.2012 JP
2013-134994 27.06.2013 JP
Titre (EN) MICROMIRROR ARRAY, MANUFACTURING METHOD FOR MICROMIRROR ARRAY, AND OPTICAL ELEMENTS USED IN MICROMIRROR ARRAY
(FR) RÉSEAU DE MICROMIROIRS, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE RÉSEAU DE MICROMIROIRS, ET ÉLÉMENTS OPTIQUES UTILISÉS DANS LEDIT RÉSEAU DE MICROMIROIRS
(JA) マイクロミラーアレイおよびその製法並びにそれに用いる光学素子
Abrégé : front page image
(EN)A manufacturing method for a micromirror array according to the present invention includes: a step in which flat, transparent substrates are prepared; a step in which the substrates are placed in a dicing machine at a prescribed position of the processing stage thereof; and a step in which a plurality of parallel linear grooves are sequentially cut, at prescribed intervals, into one surface of each of the substrates by means of a rotating blade. The substrates that have the linear grooves cut into one surface (top surface) are then stacked in one of the following manners: (1) stacked so that the top surface of one substrate is facing the underside surface of the other substrate; (2) stacked so that the top surfaces of both substrates are facing each other; or (3) stacked so that the underside surfaces of both substrates are facing each other. The substrates are stacked so that, when viewed in planar view, the extension direction of the linear grooves in one substrate is orthogonal to the extension direction of the linear grooves in the other substrate. The method enables the low cost manufacture of optical elements and a micromirror array that are capable of forming a bright image exhibiting high luminance.
(FR)La présente invention concerne un procédé de fabrication de réseau de micromiroirs qui comprend : une étape dans laquelle des substrats plats transparents sont préparés ; une étape dans laquelle les substrats sont placés dans une machine de découpage en dés au niveau d'une position prescrite de l'étage de traitement associé ; et une étape dans laquelle une pluralité de rainures parallèles linéaires est découpée de manière séquentielle, à des intervalles prescrits, en une surface de chacun des substrats au moyen d'une lame rotative. Les substrats dont les rainures linéaires sont découpées en une surface (surface supérieure) sont ensuite empilés de l'une des manières suivantes : (1) empilés de sorte que la surface supérieure d'un substrat se trouve en regard de la surface inférieure de l'autre substrat ; (2) empilés de sorte que les surfaces supérieures des deux substrats se trouvent en regard l'une de l'autre ; ou (3) empilés de sorte que les surfaces inférieures des deux substrats se trouvent en regard l'une de l'autre. Les substrats sont empilés de sorte que, lorsqu'observée dans une vue en plan, la direction d'extension des rainures linéaires dans un substrat soit orthogonale à la direction d'extension des rainures linéaires dans l'autre substrat. Le procédé permet la fabrication à faible coût d'éléments optiques et d'un réseau de micromiroirs qui sont aptes à former une image lumineuse présentant une luminance élevée.
(JA) 本発明のマイクロミラーアレイの製法は、透明な平板状の基板を準備する工程と、基板をダイシング加工機の加工ステージの所定位置に取り付ける工程と、各基板の一表面に、回転刃を用いて、互いに平行な複数本の直線状溝を所定の間隔で順次形成する工程と、上記直線状の溝が一表面(おもて面)に形成された基板を、(1)一方の基板のおもて面と他方の基板の裏面とを合わせて積み重ねる,(2)各基板におけるおもて面どうしを合わせて積み重ねる,(3)各基板における裏面どうしを合わせて積み重ねる、のいずれかの重ね方で重ね、各基板における直線状溝の延びる方向が平面視互いに直交するように構成する。これにより、明るく輝度の高い結像を結ぶことのできるマイクロミラーアレイおよび光学素子を、低コストで製造することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)