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1. (WO2014010421) MÉTHODE D'INSPECTION RADIOLOGIQUE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/010421    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/067506
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 26.06.2013
CIB :
G01N 23/04 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventeurs : UMEHARA, Yasutoshi; (JP)
Mandataire : ITOH, Tadashige; 16th Floor, Marunouchi MY PLAZA (Meiji Yasuda Seimei Building), 1-1, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-153610 09.07.2012 JP
Titre (EN) X-RAY INSPECTION METHOD AND X-RAY INSPECTION DEVICE
(FR) MÉTHODE D'INSPECTION RADIOLOGIQUE ET DISPOSITIF ASSOCIÉ
(JA) X線検査方法及びX線検査装置
Abrégé : front page image
(EN)[Problem] To provide an x-ray inspection method and an x-ray inspection device that can perform defect inspection of an inspection subject at a high speed without breaking down. [Solution] The x-ray inspection method has: an x-ray image acquisition step for acquiring an x-ray image of the inspection subject; a simulated x-ray image acquisition step for acquiring a simulated x-ray image having the closest shape to the inspection subject among a plurality of simulated x-ray images of differing inspection subject shapes; and a defect detection step for detecting defects of the inspection subject on the basis of the difference between the x-ray image and the simulated x-ray image acquired by the simulated x-ray image acquisition step.
(FR)Cette invention a pour objectif de pourvoir à une méthode d'inspection radiologique et à un dispositif associé qui peut procéder à l'inspection des défauts d'un sujet soumis à inspection à grande vitesse et sans interruption. Pour ce faire, la méthode d'inspection radiologique selon l'invention comprend : une étape d'acquisition d'une image radiologique destinée à acquérir une image radiologique du sujet soumis à inspection ; une étape d'acquisition d'une image radiologique simulée destinée à acquérir une image radiologique simulée ayant la forme la plus proche possible du sujet soumis à inspection parmi une pluralité d'images radiologiques simulées ayant des formes de sujets soumis à inspection différentes ; et une étape de détection de défauts destinée à détecter les défauts du sujet soumis à inspection sur la base de la différence entre l'image radiologique et l'image radiologique simulée acquise dans l'étape d'acquisition d'une image radiologique simulée.
(JA)【課題】非破壊で検査対象の欠陥検査を高速に行うことが可能なX線検査方法及びX線検査装置を提供すること。 【解決手段】検査対象のX線画像を取得するX線画像取得ステップと、前記検査対象の形状が異なる複数のシミュレーションX線画像から、前記検査対象の形状が最も近いシミュレーションX線画像を取得するシミュレーションX線画像取得ステップと、前記X線画像と前記X線画像取得ステップにより取得された前記シミュレーションX線画像との差分に基づき、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを有するX線検査方法。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)