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1. (WO2014010328) AGENT DE FORMATION DE FILM DE CUIVRE ET PROCÉDÉ POUR LA FORMATION DE FILM DE CUIVRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/010328    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/065108
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 30.05.2013
CIB :
C23C 18/08 (2006.01), H01B 13/00 (2006.01)
Déposants : SHIKOKU CHEMICALS CORPORATION [JP/JP]; 8-537-1, Doki-cho Higashi, Marugame-shi, Kagawa 7638504 (JP)
Inventeurs : IIDA Shusaku; (JP).
MURAI Takayuki; (JP).
HIRAO Hirohiko; (JP)
Mandataire : HAMADA Yuriko; Eikoh Patent Firm, Toranomon East Bldg. 10F, 7-13, Nishi-Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-154124 09.07.2012 JP
Titre (EN) COPPER FILM-FORMING AGENT AND METHOD FOR FORMING COPPER FILM
(FR) AGENT DE FORMATION DE FILM DE CUIVRE ET PROCÉDÉ POUR LA FORMATION DE FILM DE CUIVRE
(JA) 銅被膜形成剤及び銅被膜の形成方法
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is a copper film-forming agent containing a copper complex composed of methyl formate and a five- or six-membered nitrogen-containing heterocyclic compound having one to three nitrogen atoms, wherein the nitrogen-containing heterocyclic compound has one or two ring structures, the total number of carbon atoms contained in the substituent group is one to five, and elements other than carbon atoms in the compound are not bonded to hydrogen atoms.
(FR)La présente invention porte sur un agent de formation de film de cuivre contenant un complexe du cuivre composé de formiate de méthyle et d'un composé hétérocyclique contenant de l'azote à cinq ou six chaînons ayant un à trois atomes d'azote, le composé hétérocyclique contenant de l'azote ayant une ou deux structures cycliques, le nombre total d'atomes de carbone contenus dans le groupe substituant étant de un à cinq et les éléments autres que les atomes de carbone dans le composé n'étant pas liés à des atomes d'hydrogène.
(JA) 本発明は、1~3個の窒素原子を有する5員又は6員の含窒素複素環式化合物と蟻酸銅からなる銅錯体を含有し、前記含窒素複素環式化合物が1個又は2個の環構造を有し、置換基に含まれる炭素原子の総数が1~5であり、該化合物中の炭素原子以外の元素が水素原子と結合していない銅被膜形成剤である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)