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1. (WO2014010233) SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT ET PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT, AINSI QUE DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/010233    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/004250
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 09.07.2013
CIB :
G03F 9/00 (2006.01), G05D 3/12 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventeurs : SAKATA, Koichi; (JP).
ASAUMI, Hiroyoshi; (JP)
Mandataire : TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO., Karakida Center Bldg., 1-53-9, Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-153752 09.07.2012 JP
Titre (EN) DRIVE SYSTEM AND DRIVE METHOD, AND EXPOSURE DEVICE AND EXPOSURE METHOD
(FR) SYSTÈME D'ENTRAÎNEMENT ET PROCÉDÉ D'ENTRAÎNEMENT, AINSI QUE DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ D'EXPOSITION
(JA) 駆動システム及び駆動方法、並びに露光装置及び露光方法
Abrégé : front page image
(EN)A composite variable (Xc = αX2 + βX1) is found using gains (or transmission coefficients) (α, β) that correspond to measurement results (X2, X1) of first and second measuring instruments, and a composite control variable (Xmix = F1(Xc) + F2(X2, X1)) is found by synthesizing composite variable (Xc) and one of the measurement results (X2, X1) of the first and second measuring instruments via a high-pass filter (F1) and a low-pass filter (F2), respectively. An operation variable (U) is found using the composite control variable (Xmix) and a target value (R), and a feedback control system is configured with the operation variable (U) as the subject of control. There is thereby no need to add a high-pass filter for eliminating an offset in installation positions of the first and second measuring instruments, and a robust drive system for controlling plate stage (PST) driving can be designed that has high bandwidth regardless of the band at which resonance occurs.
(FR)Une variable composite (Xc = αX2 + βX1) est obtenue à l'aide de gains (ou de coefficients de transmission) (α, β) qui correspondent à des résultats de mesure (X2, X1) de premier et second instruments de mesure, et une variable de contrôle composite (Xmix = F1(Xc) + F2(X2, X1)) est obtenue en synthétisant la variable composite (Xc) et l'un des résultats de mesure (X2, X1) des premier et second instruments de mesure par le biais d'un filtre passe-haut (F1) et d'un filtre passe-bas (F2), respectivement. Une variable d'opération (U) est trouvée à l'aide de la variable de contrôle composite (Xmix) et d'une valeur cible (R), et un système de commande en boucle fermée est configuré avec la variable d'opération (U) en tant que sujet de commande. Il n'est donc pas nécessaire d'ajouter un filtre passe-haut pour éliminer un écart des positions d'installation des premier et second instruments de mesure, et il est possible de concevoir un système d'entraînement robuste, destiné à commander l'entraînement de l'étage plat (PST), qui possède une large bande passante indépendamment de la bande à laquelle se produit la résonance.
(JA)第1及び第2計測器の計測結果(X,X)と対応するゲイン(又は伝達関数)(α,β)とを用いて合成量(X=αX+βX)を求め、該合成量(X)と第1及び第2計測器の一方の計測結果(X,X)とをそれぞれハイパスフィルタ(F)とローパスフィルタ(F)を介して合成することで、合成制御量(Xmix=F(X)+F(X,X))を求める。合成制御量(Xmix)と目標値(R)とを用いて操作量(U)を求め、該操作量(U)を制御対象に与えるフィードバック制御系を構成する。これにより、第1及び第2計測器の設置位置のオフセットを取り除くためのハイパスフィルタの追加が不要となり、共振が現れる帯域に関係なく、高帯域でロバストなプレートステージ(PST)の駆動を制御する駆動システムを設計することが可能となる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)