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1. (WO2014009816) ENSEMBLE POUR PROCÉDÉ DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/009816    N° de la demande internationale :    PCT/IB2013/050941
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 04.02.2013
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : UAB NOVA FABRICA [LT/LT]; Laisves g. 44 30106 Ignalina (LT)
Inventeurs : AUDRONIS, Martynas; (LT)
Mandataire : SALES, Robert; Swindell & Pearson Ltd 48 Friar Gate Derby Derbyshire DE1 1GY (GB)
Données relatives à la priorité :
1212540.7 13.07.2012 GB
Titre (EN) ASSEMBLY FOR USE IN A VACUUM TREATMENT PROCESS
(FR) ENSEMBLE POUR PROCÉDÉ DE TRAITEMENT SOUS VIDE
Abrégé : front page image
(EN)An assembly for use in a vacuum treatment process, the assembly including a process chamber 1. Gas analysis apparatus to sample and analyse the gas composition within the chamber 1 is provided. The gas analysis apparatus includes a measuring apparatus 14 based either on a miniature mass spectrometer or on a miniature plasma source, which is located within an elongate housing 18. Part of the housing 18 is located within the process chamber 1 such that the gas is analysed within the chamber 1. The process can be controlled in response to the gas analysis.
(FR)L'invention porte sur un ensemble destiné à être utilisé pour un procédé de traitement sous vide, et comprenant une chambre de traitement (1). L'invention concerne en outre un appareil d'analyse de gaz pour échantillonner et analyser la composition du gaz à l'intérieur de la chambre (1). L'appareil d'analyse de gaz comprend un appareil de mesure (14) basé soit sur un spectromètre de masse miniature, soit sur une source de plasma miniature, qui est situé à l'intérieur d'un boîtier allongé (18). Une partie du boîtier (18) est située à l'intérieur de la chambre de traitement (1) de telle sorte que le gaz est analysé à l'intérieur de ladite chambre (1) Le procédé peut être régulé en réponse à l'analyse de gaz.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)