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1. (WO2014009410) APPLICATEUR MICRO-ONDE COAXIAL POUR LA PRODUCTION DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/009410    N° de la demande internationale :    PCT/EP2013/064574
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 10.07.2013
CIB :
H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : UNIVERSITE JOSEPH FOURIER - GRENOBLE 1 [FR/FR]; 621, avenue Centrale F-38400 St Martin d'Hères (FR).
PELLETIER, Jacques [FR/FR]; (FR)
Inventeurs : PELLETIER, Jacques; (FR).
LACOSTE, Ana; (FR)
Mandataire : REGIMBEAU; 139, rue Vendôme F-69477 Lyon Cedex 06 (FR)
Données relatives à la priorité :
1256677 11.07.2012 FR
Titre (EN) COAXIAL MICROWAVE APPLICATOR FOR PLASMA PRODUCTION
(FR) APPLICATEUR MICRO-ONDE COAXIAL POUR LA PRODUCTION DE PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)The invention relates to a coaxial microwave applicator (1) for plasma production, comprising a coaxial tube formed by a central core (11) and an outer conductor (12) separated from the central core by an annular space (13) allowing propagation of microwaves. The applicator comprises: a cylindrical permanent magnet (21) disposed at the end of the central core (11); and at least one annular permanent magnet (22) disposed at the end of the outer conductor (12), all of the magnets (21, 22) disposed at the end of the coaxial tube (11, 12) having the same direction of magnetisation. The magnetisation of the magnets (21, 22) forms a magnetic field suitable for generating, in a zone (ZRCE) away from the end of the applicator, an electronic cyclotronic resonance coupling with the electric microwave field of the applicator (1). The external radius and the magnetisation of the annular magnet are selected such that the magnetic field lines (L) generated by the magnets pass through the coupling zone in a direction substantially parallel to the axis (X) of the applicator (1).
(FR)L'invention concerne un applicateur micro-onde coaxial (1) pour la production de plasma, comprenant un tube coaxial formé d'une âme centrale (11) et d'un conducteur externe (12) séparé de l'âme centrale par un volume annulaire (13) de propagation des micro-ondes, comprenant: -un aimant permanent cylindrique (21) agencé à l'extrémité de l'âme centrale (11), -au moins un aimant permanent annulaire (22) agencé à l'extrémité du conducteur externe (12), tous les aimants (21, 22) agencés à l'extrémité du tube coaxial (11, 12) présentant le même sens d'aimantation, l'aimantation desdits aimants (21, 22) formant un champ magnétique propre à procurer, dans une zone (ZRCE) distante de l'extrémité de l'applicateur, un couplage de résonance cyclotronique électronique avec le champ électrique micro-onde dudit applicateur (1), le rayon extérieur et l'aimantation de l'aimant annulaire étant choisis de sorte que les lignes (L) de champ magnétique générées par lesdits aimants traversent laditezone de couplage selon une direction sensiblement parallèle à l'axe (X) de l'applicateur (1).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : français (FR)
Langue de dépôt : français (FR)