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1. (WO2014008679) DISPOSITIF DE MESURE DE LARGEUR DE LIGNE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/008679    N° de la demande internationale :    PCT/CN2012/078887
Date de publication : 16.01.2014 Date de dépôt international : 19.07.2012
CIB :
G01B 11/02 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS TECHNOLOGYCO., LTD. [CN/CN]; Wang, Kexin, No.9-2 Tangming Rd, Guangming New District Shenzhen, Guangdong 518132 (CN) (Tous Sauf US).
LIN, Yung-yu [CN/CN]; (CN) (US Seulement).
WANG, Qingping [CN/CN]; (CN) (US Seulement)
Inventeurs : LIN, Yung-yu; (CN).
WANG, Qingping; (CN)
Mandataire : ESSEN PATENT & TRADEMARK AGENCY; Wang Kexin, Cyber Times Tower A Tian'an Cyber Park, Futian District Shenzhen, Guangdong 518040 (CN)
Données relatives à la priorité :
201210235618.7 09.07.2012 CN
Titre (EN) LINE WIDTH MEASURING DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE LARGEUR DE LIGNE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
(ZH) 线宽量测装置及其方法
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a line width measuring device, comprising: a platform(10), which has a measuring region (11); an image capturing device (20), located above the platform (10) and is used for capturing an image of a pattern to measure (100) in the measurement region (11); a controller (40), connected to the image capturing device (20) and used to receive an image of a pattern to measure (100) captured by the image capturing device (20); and a mixed color light source device (30), located above the platform (10), comprising a plurality of monochromatic sources, and used to adjust the brightness proportion of each monochromatic source according to the matching ratio of the pattern to measure (100) and a standard pattern, so as to provide appropriate mixed color light for lighting. The mixed color light source device (30) comprises a red light source, a blue light source, and a green light source. Further disclosed is a line width measuring method. The present invention can provide a better measurement environment and further improve the line width measuring accuracy.
(FR)La présente invention porte sur un dispositif de mesure de largeur de ligne, comprenant : une plateforme (10), qui a une région de mesure (11); un dispositif de capture d'image (20), situé au-dessus de la plateforme (10) et qui est utilisé pour capturer une image d'un motif à mesurer (100) dans la région de mesure (11); un contrôleur (40), relié au dispositif de capture d'image (20) et utilisé pour recevoir une image d'un motif à mesurer (100) capturée par le dispositif de capture d'image (20); et un dispositif de source de lumière à couleurs mélangées (30), situé au-dessus de la plateforme (10), comprenant une pluralité de sources monochromatiques et utilisé pour régler la proportion de brillance de chaque source monochromatique selon le rapport de correspondance du motif à mesurer (100) et d'un motif standard, de manière à fournir une lumière à couleurs mélangées appropriée pour un éclairage. Le dispositif de source de lumière à couleurs mélangées (30) comprend une source de lumière rouge, une source de lumière bleue et une source de lumière verte. La présente invention porte en outre sur un procédé de mesure de largeur de ligne. La présente invention peut proposer un meilleur environnement de mesure et en outre améliorer la précision de mesure de largeur de ligne.
(ZH)一种线宽量测装置,包括:一平台(10),具有一量测区(11);一取像装置(20),设于所述平台(10)上方,用于撷取所述量测区(11)一待测图案(100)的图形;一控制器(40),所述控制器(40)连接所述取像装置(20),并接收所述取像装置(20)所获取的待测图案(100)的图形;以及一混色光源装置(30),设于所述平台(10)上方,包括多个单色光源,并根据待测图案(100)与一标准图案的匹配率调整各个单色光源的亮度比例以提供适合的混色光作为照明使用;所述混色光源装置(30)包括红色光源、蓝色光源及绿色光源。还公开了一种线宽量测方法。本发明可提供更好地量测环境,进而提升线宽量测精确度。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)