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1. (WO2014008484) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN REVÊTEMENT PROTECTEUR HAUTEMENT TRANSPARENT EN CARBONE HYDROGÉNÉ POUR SUBSTRATS TRANSPARENTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/008484    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/049467
Date de publication : 09.01.2014 Date de dépôt international : 05.07.2013
CIB :
C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : INTEVAC, INC. [US/US]; 3560 Bassett Street Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : CHEN, David Fang Wei; (US).
BROWN, David Ward; (US).
LIU, Charles; (US).
HARKNESS IV, Samuel D.; (US)
Mandataire : BACH, Joseph; P.O. Box 60610 Palo Alto, California 94306 (US)
Données relatives à la priorité :
61/668,402 05.07.2012 US
Titre (EN) METHOD TO PRODUCE HIGHLY TRANSPARENT HYDROGENATED CARBON PROTECTIVE COATING FOR TRANSPARENT SUBSTRATES
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D'UN REVÊTEMENT PROTECTEUR HAUTEMENT TRANSPARENT EN CARBONE HYDROGÉNÉ POUR SUBSTRATS TRANSPARENTS
Abrégé : front page image
(EN)A physical vapor deposition (PVD) chamber for depositing a transparent and clear hydrogenated carbon, e.g., hydrogenated diamond-like carbon, film. A chamber body is configured for maintaining vacuum condition therein, the chamber body having an aperture on its sidewall. A plasma cage having an orifice is attached to the sidewall, such that the orifice overlaps the aperture. Two sputtering targets are situated on cathodes inside the plasma cage and are oriented opposite each other and configured to sustain plasma there-between and confined inside the plasma cage. The plasma inside the cage sputters material from the targets, which then passes through the orifice and aperture and lands on the substrate. The substrate is moved continuously in a pass-by fashion during the process.
(FR)L'invention concerne une chambre de dépôt physique en phase vapeur (PVD) destinée à déposer un film transparent et incolore de carbone hydrogéné, par ex. de carbone hydrogéné à structure diamant. Un corps de chambre est configuré pour y maintenir un état de vide, le corps de chambre étant doté d'une ouverture sur sa paroi latérale. Une cage à plasma dotée d'un orifice est fixée à la paroi latérale, de telle façon que l'orifice recouvre l'ouverture. Deux cibles de pulvérisation sont situées sur des cathodes à l'intérieur de la cage à plasma et sont orientées face à face et configurées pour entretenir entre elles un plasma confiné à l'intérieur de la cage à plasma. Le plasma à l'intérieur de la cage pulvérise du matériau provenant des cibles, qui passe ensuite à travers l'orifice et l'ouverture et atterrit sur le substrat. Le substrat est déplacé en continu de manière à défiler pendant le processus.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)