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1. (WO2014007603) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/007603    N° de la demande internationale :    PCT/MY2013/000122
Date de publication : 09.01.2014 Date de dépôt international : 02.07.2013
CIB :
G01N 27/12 (2006.01)
Déposants : MIMOS BERHAD [MY/MY]; Technology Park Malaysia 57000, Kuala Lumpur (MY)
Inventeurs : BIEN, Daniel Chia Sheng; (MY).
TEH, Aun Shih; (MY).
BUYONG, Muhamad Ramdzan; (MY).
MOHD ZAIN, Azlina; (MY)
Mandataire : KAUR, Sushil; Aetas Intellectual Property Solutions D6, Sunwaypj@51A, Jalan SS9A/19 Section 51A, 47300 Petaling Jaya Selangor (MY)
Données relatives à la priorité :
PI2012700426 02.07.2012 MY
Titre (EN) A METHOD OF FABRICATING A GAS SENSOR ON A MICROHOTPLATE, THE SENSITIVE LAYER BASED ON A CONDUCTIVE NANOTUBE FUNCTIONALISED WITH METAL OXIDES
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN CAPTEUR DE GAZ
Abrégé : front page image
(EN)Method of fabricating a gas sensor with a conductive sensing element on a microhotplate (102) is provided, the method includes the steps of fabricating a microhotplate (102) on silicon, fabricating a nanostructured sensor on the microhotplate (102) by growing of conductive nanotubes (110) or nanowires with metal catalyst and functionalising the conductive nanotubes or nanowires, wherein step the nanotubes (110) or nanowires are functionalised with metal oxides as tin oxide (Sn02), tungsten oxide (WOx), tantalum pent-oxide (Ta205), aluminium oxide (AI203) copper oxide (CuO), iron oxide (Fe203), titanium oxide (TiO), Neodymium Oxide (Nd203) and zinc oxide (ZnO).
(FR)L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur de gaz avec un élément de détection conducteur sur une microplaque chauffante (102), les étapes du procédé consistant à fabriquer une microplaque chauffante (102) sur du silicium, à fabriquer un capteur nanostructuré sur la microplaque chauffante (102) en faisant croître des nanotubes conducteurs (110) ou des nanofils avec un catalyseur de métal et à fonctionnaliser les nanotubes conducteurs ou nanofils, les nanotubes (110) ou nanofils étant fonctionnalisés avec des oxydes de métaux sélectionnés parmi un groupe constitué sans y être limité de l'oxyde d'étain (SnO2), de l'oxyde de tungstène (WOx), du pentoxyde de tantale (Ta2O5), de l'oxyde d'aluminium (Al2O3), de l'oxyde de cuivre (CuO), de l'oxyde de fer (Fe2O3), de l'oxyde de titane (TiO), de l'oxyde de néodyme (Nd2O3) et de l'oxyde de zinc (ZnO).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)