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1. (WO2014006999) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/006999    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/064569
Date de publication : 09.01.2014 Date de dépôt international : 27.05.2013
CIB :
G01Q 60/22 (2010.01), G01Q 70/08 (2010.01)
Déposants : HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6-6, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008280 (JP)
Inventeurs : TACHIZAKI, Takehiro; (JP).
NAKATA, Toshihiko; (JP).
WATANABE, Masahiro; (JP)
Mandataire : INOUE, Manabu; c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-150066 04.07.2012 JP
Titre (EN) SCANNING PROBE MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE-SONDE À BALAYAGE
(JA) 走査プローブ顕微鏡
Abrégé : front page image
(EN)The purpose of the present invention is to provide a scanning probe microscope in which the efficiency of plasmon excitation has been improved and which, as a result, has an improved excitation efficiency for near-field light. The invention provides a scanning probe microscope characterized by being equipped with: a cantilever including a probe that scans an object to be examined; a light source that causes excitation light to enter the cantilever; and a near-field light detection sensor that detects near-field light which was generated at the tip of the probe by a plasmon excited with the cantilever excitation light and which has been scattered by the surface of the object to be examined. The microscope is further characterized in that a microstructure which guides the excitation light to an excitation point for the plasmon has been disposed in the part of the cantilever upon which the excitation light is to be irradiated.
(FR)Le but de la présente invention est de produire un microscope-sonde à balayage dans lequel le rendement d'excitation des plasmons a été amélioré et qui, en conséquence, présente un rendement d'excitation amélioré de la lumière à champ proche. L'invention concerne un microscope-sonde à balayage caractérisé en ce qu'il est équipé d'un élément en porte-à-faux comprenant une sonde qui balaye un objet à examiner ; d'une source de lumière qui fait pénétrer la lumière d'excitation dans l'élément en porte-à-faux, et d'un capteur de détection de lumière à champ proche qui détecte la lumière à champ proche qui a été générée à la pointe de la sonde par un plasmon excité par la lumière d'excitation de l'élément en porte-à-faux et qui a été diffusée par la surface de l'objet à examiner. Le microscope est également caractérisé en ce qu'une microstructure qui guide la lumière d'excitation vers un point d'excitation du plasmon a été disposée dans la partie de l'élément en porte-à-faux sur laquelle doit être irradiée la lumière d'excitation.
(JA) 本発明は、プラズモンの励起効率を向上させて、その結果として近接場光の励起効率を向上させた走査プローブ顕微鏡を提供することを目的とする。 本発明は、プローブを測定対象に対して走査するカンチレバーと、前記カンチレバーに励起光を入射する光源と、前記カンチレバー励起光により励起されたプラズモンによって前記プローブの先端から発生し、前記測定対象の表面から散乱した近接場光を検出する近接場光検出センサとを備え、前記カンチレバーの前記励起光が照射される部分に前記励起光を前記プラズモンの励起点に導く微小構造を設けることを特徴とする走査プローブ顕微鏡を提供する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)