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1. (WO2014006942) APPAREIL D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/006942    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/059575
Date de publication : 09.01.2014 Date de dépôt international : 29.03.2013
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), F21S 2/00 (2006.01), F21V 19/00 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), F21Y 103/00 (2006.01)
Déposants : V TECHNOLOGY CO., LTD. [JP/JP]; 134, Godo-cho, Hodogaya-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2400005 (JP)
Inventeurs : HASHIMOTO Kazushige; (JP).
ARAI Toshinari; (JP).
TOMITSUKA Yoshihiro; (JP)
Mandataire : EICHI PATENT & TRADEMARK CORP.; 45-13, Sengoku 4-chome, Bunkyo-ku, Tokyo 1120011 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-149960 03.07.2012 JP
Titre (EN) EXPOSURE APPARATUS
(FR) APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) 露光装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an exposure apparatus, which uses a plurality of short-length lamps as light sources, and which can perform exposure with less illuminance unevenness by means of a simple structure, said exposure apparatus having the lamps easily replaced. An exposure apparatus (100) has: a transfer unit (2), which transfers a subject to be exposed (11) in the transfer direction; and a light irradiation unit (3) having a plurality of light irradiation units (31) disposed at predetermined intervals within a horizontal plane, each of said light irradiation units being provided with bar-like light sources (32) having the longitudinal direction length thereof shorter than that of the subject to be exposed (11), and polarizers (34) disposed between the light sources (32) and the subject to be exposed (11). Each of the light irradiation units (31) has the light sources (32) and the polarizers (34) disposed parallel to the subject to be exposed (11), the direction of the polarization axis of each of the polarizers (34) is set to the predetermined direction with respect to the transfer direction, and the light sources (32) are respectively disposed such that the longitudinal direction of the light sources (32) is parallel or diagonal to the transfer direction. The exposure apparatus (100) has a swinging means (56b) that swings the subject to be exposed (11) or the light irradiation unit (3) in the direction intersecting the transfer direction.
(FR)La présente invention porte sur un appareil d'exposition qui utilise une pluralité de lampes de longueur courte en tant que sources lumineuses et qui peut obtenir une exposition dont l'éclairage est moins inégal au moyen d'une structure simple, les lampes dudit appareil d'exposition étant facilement remplacées. Ledit appareil d'exposition (100) présente : une unité de transfert (2), qui transfère un sujet à exposer (11) dans la direction de transfert ; une unité d'irradiation de lumière (3) ayant une pluralité d'unités d'irradiation de lumière (31) disposées à des intervalles prédéterminés dans un plan horizontal, chacune desdites unités d'irradiation de lumière étant pourvue de sources lumineuses (32) de type barre dont la longueur de direction longitudinale est plus courte que celle du sujet à exposer (11), et de polariseurs (34) disposés entre les sources lumineuses (32) et le sujet à exposer (11). Les sources lumineuses (32) et les polariseurs (34) de chacune des unités d'irradiation de lumière (31) sont disposés parallèles au sujet à exposer (11), la direction de l'axe de polarisation de chacun des polariseurs (34) est réglée sur la direction prédéterminée par rapport à la direction de transfert, et les sources lumineuses (32) sont respectivement disposées de telle sorte que la direction longitudinale des sources lumineuses (32) est parallèle ou diagonale à la direction de transfert. L'appareil d'exposition (100) possède un moyen oscillant (56b) qui fait osciller le sujet à exposer (11) ou l'unité d'irradiation de lumière (3) dans la direction croisant la direction de transfert.
(JA) 光源として複数の短寸のランプを用い、簡単な構造で、照度ムラの低い露光を行うことができる露光装置を提供する。ランプ交換が容易な露光装置を提供する。 露光装置100は、被露光体11を搬送方向に搬送する搬送部2と、被露光体11よりも、長手方向の長さが短い棒状の光源32、及び、光源32と被露光体11との間に配置される偏光子34を備えた複数の光照射ユニット31を、水平面内で規定間隔に並べて配置した光照射部3とを有し、光照射ユニット31は、光源32および偏光子34が被露光体11に対して平行に配置され、且つ、各偏光子34の偏光軸の方向が搬送方向に対して規定方向に設定され、各光源32は、光源32の長手方向が搬送方向に対して平行、または、斜め方向となるように配置されている。露光装置100は、被露光体11または光照射部3を搬送方向に対して交差する方向に揺動させる揺動手段56bを有する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)