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1. (WO2014006831) MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE ET APPAREIL D'EXPOSITION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/006831    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/003816
Date de publication : 09.01.2014 Date de dépôt international : 19.06.2013
CIB :
G02B 26/08 (2006.01), B81B 3/00 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP)
Inventeurs : SUZUKI, Junji; (JP).
SUZUKI, Yoshihiko; (JP)
Mandataire : RYUKA IP LAW FIRM; 22F, Shinjuku L Tower, 6-1, Nishi-Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1631522 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-148813 02.07.2012 JP
Titre (EN) SPATIAL LIGHT MODULATOR AND EXPOSURE APPARATUS
(FR) MODULATEUR SPATIAL DE LUMIÈRE ET APPAREIL D'EXPOSITION
(JA) 空間光変調器および露光装置
Abrégé : front page image
(EN)This spatial light modulator is provided with: a substrate; a fixed electrode disposed on the surface of the substrate; a connecting section, which has one end thereof connected to the surface; a movable section, which is connected to the other end of the connecting section, and which swings with respect to the substrate due to elastic deformation of the connecting section; a supporting post section, which extends in the thickness direction of the substrate with one end of the supporting post section connected to the movable section, and which integrally swings with the movable section; a reflecting member, which is connected to the other end of the supporting post section, and which has a reflecting surface that integrally swings with the movable section and the supporting post section; a movable electrode, which is disposed on the surface of the reflecting member, said surface facing the fixed electrode; and a conductor layer, which is disposed to the supporting post section with a film thickness larger than that of the movable electrode, and which electrically connects between the movable section and the movable electrode.
(FR)L'invention se rapporte à un modulateur spatial de lumière comprenant : un substrat ; une électrode fixe qui se situe sur la surface du substrat ; une section de connexion dont une extrémité est connectée à la surface ; une section mobile qui est connectée à l'autre extrémité de la section de connexion et qui oscille par rapport au substrat en raison de la déformation élastique de cette section de connexion ; une section montant de support qui s'étend dans le sens de l'épaisseur du substrat, une extrémité de la section montant de support étant connectée à la section mobile, et qui oscille intégralement en même temps que la section mobile ; un élément réfléchissant qui est connecté à l'autre extrémité de la section montant de support et qui possède une surface réfléchissante oscillant intégralement en même temps que la section mobile et que la section montant de support ; une électrode mobile qui se situe sur la surface de l'élément réfléchissant, ladite surface se trouvant en regard de l'électrode fixe ; ainsi qu'une couche conductrice qui est disposée sur la section montant de support, présente une épaisseur de film supérieure à celle de l'électrode mobile, et est connectée électriquement entre la section mobile et l'électrode mobile.
(JA) 空間光変調器であって、基板と、基板の表面に配された固定電極と、表面に一端を連結された連結部と、連結部の他端に連結されて、連結部の弾性変形により基板に対して揺動する可動部と、可動部に一端を結合されて基板の厚さ方向に延在し、可動部と一体的に揺動する支柱部と、支柱部の他端に結合され、可動部および支柱部と一体的に揺動する反射面を有する反射部材と、反射部材において固定電極に対向する面に配された可動電極と、可動電極の膜厚よりも大きな膜厚を有して支柱部に配され、可動部および可動電極の間を電気的に結合する導体層とを備える。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)