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1. (WO2014006818) DISPOSITIF DE MEULAGE À DEUX TÊTES ET PROCÉDÉ DE MEULAGE À DEUX TÊTES DE PIÈCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/006818    N° de la demande internationale :    PCT/JP2013/003476
Date de publication : 09.01.2014 Date de dépôt international : 03.06.2013
CIB :
B24B 7/17 (2006.01), B24B 41/06 (2012.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : SHIN-ETSU HANDOTAI CO.,LTD. [JP/JP]; 6-2, Ohtemachi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000004 (JP)
Inventeurs : KOBAYASHI, Kenji; (JP)
Mandataire : YOSHIMIYA, Mikio; 1st Shitaya Bldg. 8F, 6-11, Ueno 7-chome, Taito-ku, Tokyo 1100005 (JP)
Données relatives à la priorité :
2012-149203 03.07.2012 JP
Titre (EN) DOUBLE-HEADED GRINDING DEVICE AND METHOD FOR DOUBLE-HEADED GRINDING OF WORKPIECES
(FR) DISPOSITIF DE MEULAGE À DEUX TÊTES ET PROCÉDÉ DE MEULAGE À DEUX TÊTES DE PIÈCES
(JA) 両頭研削装置及びワークの両頭研削方法
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is a double-headed grinding device having a ring-shaped holder which is rotatable for supporting a thin-plate workpiece from the outer periphery along the radial direction, and a pair of grindstones for grinding both surfaces of said workpiece simultaneously as said workpiece is supported by said ring-shaped holder. Said double-headed grinding device is characterized in that it is provided with a hydrostatic bearing for supporting said ring-shaped holder in a non-contact fashion by means of the static pressure of liquid delivered from both the rotation axis direction of said ring-shaped holder and the direction perpendicular to said rotation axis, and in that the pressure force for delivering the liquid from the rotation axis direction and the pressure force for delivering the liquid from the direction perpendicular to said rotation axis can be controlled independently. Accordingly, a double-headed grinding device and a method for double-headed grinding of workpieces are provided in which improvement is achieved in the dispersion of nanotopography that is generated depending on the grinding wheel, workpiece lots, and so forth, such that stable and highly accurate nanotopography can be obtained every time grinding is performed.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de meulage à deux têtes possédant un support en forme de bague qui peut tourner pour supporter une pièce à plaque mince depuis la périphérie extérieure le long de la direction radiale, et une paire de meules pour meuler les deux surfaces de ladite pièce simultanément quand ladite pièce est supportée par ledit support en forme de bague. Ledit dispositif de meulage à deux têtes est caractérisé en ce qu'il est pourvu d'un palier hydrostatique destiné à supporter ledit support en forme de bague sans contact à l'aide de la pression statique du liquide distribué depuis la direction de l'axe de rotation dudit support en forme de bague et la direction perpendiculaire audit axe de rotation, et en ce que la force de pression pour distribuer le liquide depuis la direction de l'axe de rotation et la force de pression pour distribuer le liquide depuis la direction perpendiculaire audit axe de rotation peuvent être commandées indépendamment. En conséquence, un dispositif de meulage à deux têtes et un procédé de meulage à deux têtes de pièces sont proposés, dans lesquels on réalise une amélioration de la dispersion de nanotopographie qui est produite en fonction de la meule, du nombre de pièces, et ainsi de suite, de sorte qu'on puisse obtenir une nanotopographie stable et très précise à chaque fois qu'un meulage est réalisé.
(JA) 本発明は、薄板状のワークを径方向に沿って外周側から支持する自転可能なリング状ホルダーと、該リング状ホルダーにより支持された前記ワークの両面を同時に研削する一対の砥石とを有する両頭研削装置であって、更に、前記リング状ホルダーの自転軸方向及び自転軸に垂直な方向の両方向から供給される流体の静圧により前記リング状ホルダーを前記両方向から非接触支持する静圧軸受を具備し、前記自転軸方向から供給される流体と前記自転軸に垂直な方向から供給される流体の供給圧力をそれぞれ独立して制御可能なものであることを特徴とする両頭研削装置である。これにより、ワークのロットや砥石に依存して発生するナノトポグラフィーのばらつきを改善し、研削毎に安定して高精度なナノトポグラフィーを得ることができる両頭研削装置及びワークの両頭研削方法が提供される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)