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1. (WO2014003937) SOURCE D'IONS MULTI-ESPÈCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2014/003937    N° de la demande internationale :    PCT/US2013/042697
Date de publication : 03.01.2014 Date de dépôt international : 24.05.2013
CIB :
H01J 37/147 (2006.01), H01J 37/22 (2006.01), H01J 37/08 (2006.01)
Déposants : FEI COMPANY [US/US]; 5350 NE Dawson Creek Dr. Hillsboro, Oregon 97124 (US)
Inventeurs : SCHWIND, Gregory A.; (US).
PARKER, N. William; (US)
Mandataire : SCHEINBERG, Michael O.; PO Box 164140 Austin, Texas 78716 (US)
Données relatives à la priorité :
61/666,518 29.06.2012 US
Titre (EN) Multi Species Ion Source
(FR) SOURCE D'IONS MULTI-ESPÈCE
Abrégé : front page image
(EN)A high brightness ion source with a gas chamber includes multiple channels, wherein the multiple channels each have a different gas. An electron beam is passed through one of the channels to provide ions of a certain species for processing a sample. The ion species can be rapidly changed by directing the electrons into another channel with a different gas species and processing a sample with ions of a second species. Deflection plates are used to align the electron beam into the gas chamber, thereby allowing the gas species in the focused ion beam to be switched quickly.
(FR)La présente invention porte sur une source d'ions à haute luminosité avec une chambre à gaz, qui comprend de multiples canaux, les multiples canaux ayant chacun un gaz différent. Un faisceau d'électrons est amené à passer à travers l'un des canaux pour fournir des ions d'une certaine espèce pour le traitement d'un échantillon. L'espèce d'ion peut être rapidement modifiée en dirigeant les électrons dans un autre canal avec une espèce de gaz différente et en traitant un échantillon avec des ions d'une seconde espèce. Des plaques de déflexion sont utilisées pour aligner le faisceau d'électrons dans la chambre à gaz, permettant ainsi à l'espèce de gaz dans le faisceau d'ions focalisé d'être rapidement commutée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)